VS1501 / VS2401|VS 系列|油回转真空泵|真空泵(低・中真空)|产品中心|ULVAC SHOWCASE

油回转真空泵

VS 系列

VS1501 / VS2401

アルバック


VS1501/VS2401 是旋片式(单级)的油旋转真空泵。水冷和强制给油的方式使得在高负荷下的排气性能也得以稳定。
此外还采用了大型油位计并在设计之初考虑了维保的便捷性。

特点

  • 水冷和强制给油
    在高负荷运转下也能满足缸体的供油,排气性能比压差给油更稳定。
  • 使用油压油防吸系统
    泵停转时,可以防止油从油箱倒吸至吸气端。
  • 维保便捷性
    除使用了可时刻监测油状态的大型油位计外,还设计了油箱清洗、更换排气阀等时的便捷盖。

用途

  • 光学膜蒸镀设备
  • 反射器蒸镀设备
  • 装饰用蒸镀设备
  • 薄膜卷绕蒸镀设备
  • 内嵌溅射设备
  • 烘烤炉 /热处理炉
  • 冻干设备
  • 检漏设备

规格

型号 VS1501 VS2401
设计排气速度 50Hz m3 / hr (L/min) 150(2500) 240(4000)
60Hz 180(3000) 288(4800)
极限压力 GP关 Pa ≦ 5.3
GP开 ≦ 80
功耗(极限压力时) 50Hz kW 2.3 2.8
60Hz 2.9 3.6
电机 型号 全封闭风冷 三相感应电机
容量 kW (Poles) 5.5(4) 7.5(4)
电压 50Hz V 200~240 / 380~415
60Hz 200~240 / 380~460
噪音值*1(极限压力时) 50Hz dB 67 73
60Hz 67 73
使用油 ULVOIL R-72
所需油量 L 8~10.5
冷却方式 水冷
冷却水 初压 MPaG ≦0.5
出入口压差 ≧0.1
冷却水量 L/min ≧4.0 ≧5.0
冷却水温度 5~30
冷却水Δt ≦10
吸气口法兰 JIS VG80
排气口法兰 JIS VF50
重量 kg 232 271
外观尺寸 W×D×H mm 300×941×460 333×1061×460
海外安全标准

注意:本资料采用SI测量单位。
※1 平均声压级根据ISO2151进行测量・计算。

排气速度曲线

  • VS1501/VS2401
VS1501VS2401.PNG

尺寸图

  • VS1501/VS2401
VS1501_size_1.png

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