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原理

溅射设备那样,低温泵的再生循环由对氩气的排气容量决定时,从低温泵中只排出氩气和氢气,可以设定可再排气的状态。

氢气在将温度提高到50K时,容易作为气体排出。氩气在温度提高到100K以上时液化。气体状态的氢气和液体状态的液氩保持在低温泵的低温状态排出,低温泵的这种再生方法称为急速低温再生。

但是,水在泵内以冰的形式残留,需要通常的再生(如果水的进入量很大时要升温到室温)。

实施低温再生时,从低温泵低温排出液化化气体的机构是必须的。(図2-1)

低温再生不必升温到室温,短时间的升温即可。此外,冷却也是从低温状态开始的,再生时间可以得到显著缩短。

以12型低温泵进行急速低温再生的实验举例,低温泵从停止到可再排气的状态一小时以内即可完成。像这个例子一样,利用急速低温再生,溅射设备的再生时间可以大幅缩短(通常时间的1/4~1/5)。

再者,溅射设备以外,由水以外的凝缩性气体决定再生循环时,可以作为缩短再生时间的有力手段。

図2-1.急速低温再生的排气系统例

fig2-1.gif
HVP:水蒸气压温度计 PG4:真空槽用点离真空计 V4:粗排气阀
PG1:低温泵用皮拉尼真空计 V1:主阀 GV:门阀(Ar放气阀)
PG2:低温泵用电离真空计 V2:低温泵粗排气阀 VV:放气阀
PG3:真空槽用皮拉尼真空计 V3:真空槽粗排气阀 PV:导入阀

図2-2.急速低温再生和通常再生的比较

fig2-2.gif

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