急速低温再生・・・再生时间的缩短

原理

溅射设备那样，低温泵的再生循环由对氩气的排气容量决定时，从低温泵中只排出氩气和氢气，可以设定可再排气的状态。

氢气在将温度提高到50K时，容易作为气体排出。氩气在温度提高到100K以上时液化。气体状态的氢气和液体状态的液氩保持在低温泵的低温状态排出，低温泵的这种再生方法称为急速低温再生。

但是，水在泵内以冰的形式残留，需要通常的再生（如果水的进入量很大时要升温到室温）。

实施低温再生时，从低温泵低温排出液化化气体的机构是必须的。（図2-1）

低温再生不必升温到室温，短时间的升温即可。此外，冷却也是从低温状态开始的，再生时间可以得到显著缩短。

以12型低温泵进行急速低温再生的实验举例，低温泵从停止到可再排气的状态一小时以内即可完成。像这个例子一样，利用急速低温再生，溅射设备的再生时间可以大幅缩短（通常时间的1/4～1/5）。

再者，溅射设备以外，由水以外的凝缩性气体决定再生循环时，可以作为缩短再生时间的有力手段。

図2-1．急速低温再生的排气系统例

図2-2．急速低温再生和通常再生的比较