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气体分析仪的应用
（1）应用数据 蒸发设备残留Gas data
大气压成分N2：78％ O2：21％ Ar：0.9％
・通常的高真空状态下H2O和H2会比较多。
・可以根据N2(28) / O2(32) 的离子强度及其比例判断泄漏是否存在。
・可以通过 M/e=39,41,43,55,57（CｘHｙ）判断油成分的污染。
（2）应用数据 PVD Process Gas Data（Semi）
（3）应用数据 PVD Process Gas Data （FPD）
Ar Gas导入时（2）（Ar 400 sccm导入时，O2 2 → 4 → 6 → 8 → 10sccm）
（4）应用数据 PVD Process Gas Data （semi）
（5）测量示例 真空干燥炉・Process Data
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