Technology

(1)应用数据 蒸发设备残留Gas data

gas01_1.jpg

大气压成分N2:78% O2:21% Ar:0.9%

・通常的高真空状态下H2O和H2会比较多。

・可以根据N2(28) / O2(32) 的离子强度及其比例判断泄漏是否存在。

・可以通过 M/e=39,41,43,55,57(CH)判断油成分的污染。

(2)应用数据 PVD Process Gas Data(Semi)

gas02_1.jpg

(3)应用数据 PVD Process Gas Data (FPD)

Ar Gas导入时(2)(Ar 400 sccm导入时,O2 2 → 4 → 6 → 8 → 10sccm)

gas03_1.jpg

(4)应用数据  PVD Process Gas Data (semi)

gas04_1.jpg

(5)测量示例  真空干燥炉・Process Data

gas05_1.jpg

Technology

解决方案

This website use cookies to obtain and use access data to understand the convenience and usage of customers. If you agree to use cookies, click "I Accept".
[Privacy Plicy] [Cookie Policy]

I Accept