排気ユニット
VM シリーズ
VMD-030
アルバック機工
メカニカルブースターポンプ・ダイアフラム型ドライ真空ポンプ・配管をコンパクトに一体化させた、小型の高真空排気装置です。
取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。
取扱いや保守点検が容易で実験用に最適です。
特長
- 補助ポンプの排気速度が減少する圧力領域で、排気速度の大幅アップが可能です。
- 設置スペースがコンパクトです。
- 起動ボタンひとつで、大気圧から到達圧力まで一気に排気します。
仕様
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型 式
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VMD-030 | |
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到達圧力
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20 Pa | |
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メインポンプ
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メカニカルブースターポンプ 500 L/min （ at 100Pa ） | |
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補助ポンプ
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ダイアフラム型ドライ真空ポンプ 100 L/min | |
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吸気口
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VG-40 | |
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質量
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42kg | |
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最大寸法
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100V系 | 346mm(W)×473mm(D)×423mm(H) |
| 200V系 | 346mm(W)×522mm(D)×423mm(H) | |
ユーティリティ
| 型 式 | VMD-030 |
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所要電気量
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単相 100V／200V 1.1kVA |
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アース端子
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Ｄ種 （接地抵抗値／100MΩ以下） |
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取り合い
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100V系 ： ビニルキャプタイヤケーブル（プラグ付） 1.8m 200V系 ：ビニルキャプタイヤケーブル（先バラ） 1.8m |
