成膜コントローラ
アルバックの成膜コントローラは、装置メーカーとしての豊富な技術・経験をもとに開発されました。
単層膜から多層膜まで、幅広い成膜プロセスに対応が可能です。
種類
- シリーズから選ぶ
- 条件から選ぶ
- 水晶式成膜コントローラ
- シングルセンサ
- マルチセンサ
- 水晶板
- オプショ ン
同時測定/制御
搭載クリスタル数
ベーキング温度(℃)
耐熱温度(℃)
アルバックの成膜コントローラは、装置メーカーとしての豊富な技術・経験をもとに開発されました。
単層膜から多層膜まで、幅広い成膜プロセスに対応が可能です。
種類
同時測定/制御
搭載クリスタル数
ベーキング温度(℃)
耐熱温度(℃)
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