晶体振荡式成膜控制器的基本知识

晶体振荡式成膜控制器 CRTM系列

水晶振荡式成膜控制器CRTM系列包括2种机型,体积小但基本性能完善,具有高性价比的CRTM-6000G。
以及具有4源同时蒸发控制,性能极其出色的CRTM-9200。

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CRTM-6000G是备受好评的用于研发/生产的成膜控制器CRTM-6000的升级机型。
尽管是紧凑的半机架尺寸,但具有出色的性能和功能,分辨率为0.04Å的出色测量性能,连接2个传感器,3ch模拟输出,可编程的I/O,多层成膜控制(多达99层)。


■ 连接2个传感器
最多可以连接两个传感器。 (不能同时测量,切换式)

■ 高解析度
优异的膜厚/成膜速率测量分辨率(0.04Å),可当成膜速率低时有效控制。

■ 高速采样
由于采样速率快(125ms),因此可以对反馈进行良好的控制。

■ 多层膜控制
可以制作多达99层的30种类型的多层膜控制程序(处理程序)。

■ 可编程数字输入/输出
可以对12ch数字I/O信号进行编程,因此可以灵活地连接设备。

■ 3ch模拟输出
除POWER之外,RATE和THK等3ch可编程模拟输出也是标准配置。

■ 99种蒸发程序
最多可以编程99种类型的蒸发序列。

■ 精细控制
预热和成膜速率控制最多可以输入3级,因此可以执行更精细的控制。

■ 主机通讯
标准配有RS-232C用于主机通信,因此很容易从PC进行控制。



外观尺寸图

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有关CRTM-6000G的详细信息

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CRTM-9200是具有高性能和高功能的最高端型号。
低速控制,高速分辨率(0.0050Å/ s),最高4源同时蒸发控制,MLC(考虑水晶振动子履历的膜厚计算),TZC(Tooling,Z-Ratio计算功能),通过USB进行数据和程序管理等,搭载有各种功能。



■ 高解析度
具有出色的膜厚和速率分辨率(0.005Å),可用于需要低速率控制的成膜过程。

■ 4源同时蒸发控制
最高可同时控制4源蒸发。 (添加选购的SS卡时)

■ MLC(Multi Layer Calculation)功能
考虑到水晶振动子成膜的履历的多层膜计算功能,即使临界水晶振动子的使用寿命也能进行稳定的测量。

■ TZC(Tooling, Z-Ratio Calculation)功能
可以从测得的膜厚中计算得出最佳的Tooling和Z-Ratio比。

■ 同步设定/主从
在同时蒸发的情况下,可以调整每个蒸发过程的时间并且可以将成分比保持恒定。

■ 灵活的沉积程序
通过组合功率和速率的四个命令,可以自由编程多达30个蒸发顺序。

■USB存储器保存程序
除了内部存储器外,程序还可以保存到USB存储器中。


外形尺寸图

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多元同時蒸发控制

通过添加可选的SS卡,可以同时进行多达4源的蒸发控制。

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MLC功能

在传统方法中,膜厚是通过将附着在晶体单元上的膜和形成的新膜作为一个膜来计算的,但是使用CRTM-9200使用了考虑了所有过去的成膜履历(膜厚,声阻抗比,密度)的多层膜计算公式,可以比以前更精确地计算新膜层的膜厚度。

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晶体振荡式成膜控制器传感器CRTS系列

CRTS系列是用于晶体振荡式控制器CRTM系列的传感器。
丰富的产品阵容可广泛用于各种蒸发设备。

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CRTS系列的选项

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・可以根据条件进行选择,例如是否烘烤以及工作温度。
・紧凑的传感器头,易于安装在设备内。
・也可以选择长寿命的振荡器。
・晶振频率有4MHz和5MHz(6MHz:特殊类型)。

型式 用途・特点
CRTS-0
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无水冷管的蒸发传感器
80℃以下的蒸发
CRTS-0
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无水冷管的蒸发传感器
带水冷套
300℃以下的蒸发
CRTS-4
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蒸发传感器
100℃以下的蒸发
CRTS-6
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蒸发传感器
200℃以下的蒸发
CRTS-4U
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可烘烤蒸发传感器
CRTS-6U
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可烘烤蒸发传感器
超高真空用200℃以下的蒸发

连接图

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外观尺寸

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・配有水晶振动子(CRTS-M6)6枚和(CRTS-12NS)12枚,非常适合有机蒸发和连续多层蒸发。
・可靠性高的电机驱动方式
・支撑件可拆卸,可轻松更换水晶振动子。
・检测水晶振动子的振动异常(寿命),可自动切换晶体板。
 (当控制器使用CRTM系列时)
・CRTS-M6为Φ50mm的紧凑型,易于安装。

型式 用途・特長
CRTS-M6
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多传感器6连
350℃以下的厚膜连续蒸发
CRTS-12NS
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多传感器12连
350℃以下的厚膜连续蒸发

连接图

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