什么是CRTM？
晶体振荡式成膜控制器 → CRTM(Crystal Rate Thickness Monitor)
晶体振荡式 → 使用水晶振动子并利用水晶振动子的振动
成膜 → 用于成膜过程
控制器 → 控制机器
什么是晶体振荡式？
水晶是由二氧化硅（石英）制成的无色透明晶体
・当对晶体施加机械压力时，表面会产生电（压电效应）
・当电压施加到晶体上时，会变形（反压电效应）
当将电压交替地施加到将晶体以特定角度切割的水晶振动子两侧时，会开始一定的振动（共振）。
由于水晶振动子是纯晶体，因此水晶振动子会继续以非常稳定的频率振动。
CRTS为直径12.4mm，表面是金/银膜电极的水晶振动子构成的。施加交流电压并振动。
当振动时会发生什么？
晶体振动（水晶振动子的滑动振动）
振动频率取决于水晶振动子的形状（切割角度，厚度等）
爱发科的水晶振动子为4M，5M，6MHz（5MHz =每秒500万次振动）
材料附着在振动的水晶振动子表面
→质量增加（变重）
→变得难以振动
→随着质量的增加，频率会降低（Hz）
→根据频率的变化就能知道质量（g）
→可以从附着面积，材料密度等确定附着厚度（Å，nm）
→通过知道膜厚和成膜时间来确定膜沉积速度（速率）（Å/s）
什么是成膜？
膜的形成
膜 → 金属、绝缘、有机材料等、装饰、绝缘、导电、硬度、顺滑等
形成 → 制作，锐化，堆叠等
什么是控制？
存在有「控制器」和「显示器」
控制器 → 具有外围设备的控制功能
显示器 → 接收信号并显示
什么是CRTM?
（1）接收传感器信号并测量频率（Hz）
（2）根据频率变化计算膜厚度（Å）
（3）根据膜厚计算速率（Å/ s）
（1）根据频率的测量
掌握频率突变（JUMP），水晶振动子的使用期限（寿命）等
（2）根据膜厚度的计算
掌握过程结束点，多层成膜的厚度
（3）根据速率的计算
通过对蒸发电源的反馈和速率控制来改善成膜质量
如此，成膜过程可自动运行。