晶体振荡式成膜控制器的基本知识
术语
| 术语 | 读音 | 意思・内容 |
|---|---|---|
| THK | シック | 膜厚 |
| Z-ratio | ゼットレシオ | 蒸发材料和水晶振动子的声阻抗校正值 （声阻抗: 易于传递物质固有的振动） |
| Tooling | ツーリング | 实际膜厚与CRTM显示之间差异的校正系数 |
| Density | デンシティー | 蒸发物的密度 |
| XTAL FAIL | クリスタルフェイル | 振荡发生异常状态及对应的error名称 |
| ABORT | アボート | 中断程序 |
| spurious | スプリアス | 容易以高于主振荡频率的频率振荡的区域 |
| JUMP | ジャンプ | 频率突然变化的状态 |
| 突沸 | とっぷつ | 由于快速加热等原因，物体本身分散而不是蒸汽分散的状态。 |