晶体振荡式成膜控制器的基本知识

CRTM 经常听到的术语

术语 读音 意思・内容
THK シック 膜厚
Z-ratio ゼットレシオ 蒸发材料和水晶振动子的声阻抗校正值
(声阻抗: 易于传递物质固有的振动)
Tooling ツーリング 实际膜厚与CRTM显示之间差异的校正系数
Density デンシティー 蒸发物的密度
XTAL FAIL クリスタルフェイル 振荡发生异常状态及对应的error名称
ABORT アボート 中断程序
spurious スプリアス 容易以高于主振荡频率的频率振荡的区域
JUMP ジャンプ 频率突然变化的状态
突沸 とっぷつ 由于快速加热等原因,物体本身分散而不是蒸汽分散的状态。

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