与传统的水晶振动子相比，爱发科新型的水晶振动子具有出色的成膜过程中的温度特性，辐射热导致的速率波动更小，更高的重现性。
旨在提高寿命和稳定性，并改善成膜控制。
新水晶振动子的特点
■辐射热引起的频率变化是同类产品中最小的
- 成膜过程中的优异温度特性
- 速率稳定性好，寿命长
- 打开和关闭shutter时，波动和变化小（热冲击变化）
■专用于有机材料的高性能水晶振动子（UCR-4MAG-01）
- 水晶振动子间的灵敏度，速率和特性变化很小
- 多个传感器切换使用时的理想选择
- 频率4MHz规格比5MHz寿命更长
■采用旋转型盒子
- 每盒12枚
- 易于管理（减少转移/存储过程中的损坏）
晶体振荡式膜厚控制器成膜过程控制的问题
更换水晶振动子后，频率发生变化。
虽然是新的水晶振动子，但是振动频率不同。
■各种因素决定了振荡频率...
水晶振动子 切割角度、形状、表面处理
电极 材质、面积、厚度、形状
传感器 水晶振动子和传感器电极的接触状态等
水晶振动子之间存在细微的个体差异，不仅是因实际成膜导致的频率变化
最近的市场需求
在OLED面板等新市场中，先前被忽略的"不稳定元素"将不再被忽略。
・希望将速率控制在Å以下
・希望低速率成膜
・希望将薄膜厚度变化降低到％
・希望数十层的成膜
必须尽可能消除和改善频率测量的不稳定因素。
市场需求的对策
- 频率变化因素的改善
・水晶振动子之间的个体差异
・温度特性 - 其他的改善
・沉积层的粘和性和亲和性
・使用、保管、运输状态等
也种通过软件运算处理来提高稳定性的方案。
并不是真正的解决方案
产品的介绍
新型水晶振动子UCR系列，包含了爱发科专有的技术，以其出色的温度特性和频率均匀性减少了一直以来的问题。
1.UCR系列的优点
辐射热引起的频率变化是同类产品中最小的
水晶振动子个体差异的频率分布小
再现性提高 变化小
安全性提高 温度特性变化小
膜质提高 直至测量极限都能稳定使用
长寿命 单枚水晶振动子的可使用时间延长
生产性提高 设备运行时间延长
在各种条件下都能更稳定地成膜
2.UCR系列对应的工艺
金属：AL，Cu，Au，Ag，Ni，Ti，Cr等
氧化物：SiO2，ZrO2，AL2O3等
有机材料：OLED面板
产品阵容有4MHz和5MHz，可支持各种成膜工艺，并且采用了爱发科独创的技术，有助于提高成膜工艺的质量和生产节拍。
3.水晶振动子UCR的规格
| 型号 | UCR-4MAG-12 | UCR-5MAU-12 | UCR-5MAG12 |
| 用途 | 有机材料膜 (OLED面板) | 金属膜、光学膜 | |
| 频率 | 4MHz | 5MHz | |
| 尺寸 | φ12.4 | ||
| 电极 | Ag | Au | Ag |
| 对应成膜控制器 | CRTM-9200 | CRTM-6000G/CRTM-9200 | |
| 可装载传感器 | 单传感器(CRTM-0, 4, 6) 多传感器(CRTM-12NS, M6) |
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| 电极表面 | 镜面抛光 | 标准光洁度 | |
| 包装形态 | 多传感器兼容盒 (12 pcs) | ||