晶体振荡式成膜控制器的基本知识

与传统的水晶振动子相比,爱发科新型的水晶振动子具有出色的成膜过程中的温度特性,辐射热导致的速率波动更小,更高的重现性。
旨在提高寿命和稳定性,并改善成膜控制。

新水晶振动子的特点

■辐射热引起的频率变化是同类产品中最小的

  • 成膜过程中的优异温度特性
  • 速率稳定性好,寿命长
  • 打开和关闭shutter时,波动和变化小(热冲击变化)

■专用于有机材料的高性能水晶振动子(UCR-4MAG-01)

  • 水晶振动子间的灵敏度,速率和特性变化很小
  • 多个传感器切换使用时的理想选择
  • 频率4MHz规格比5MHz寿命更长

■采用旋转型盒子

  • 每盒12枚
  • 易于管理(减少转移/存储过程中的损坏)

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晶体振荡式膜厚控制器成膜过程控制的问题

更换水晶振动子后,频率发生变化。
虽然是新的水晶振动子,但是振动频率不同。

■各种因素决定了振荡频率...

水晶振动子 切割角度、形状、表面处理
电极  材质、面积、厚度、形状
传感器 水晶振动子和传感器电极的接触状态等

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水晶振动子之间存在细微的个体差异,
不仅是因实际成膜导致的频率变化

最近的市场需求

在OLED面板等新市场中,先前被忽略的"不稳定元素"将不再被忽略。

・希望将速率控制在Å以下
・希望低速率成膜
・希望将薄膜厚度变化降低到%
・希望数十层的成膜

必须尽可能消除和改善频率测量的不稳定因素。

市场需求的对策

  • 频率变化因素的改善
    ・水晶振动子之间的个体差异
    ・温度特性
  • 其他的改善
    ・沉积层的粘和性和亲和性
    ・使用、保管、运输状态等

也种通过软件运算处理来提高稳定性的方案。
并不是真正的解决方案

产品的介绍

新型水晶振动子UCR系列,包含了爱发科专有的技术,以其出色的温度特性和频率均匀性减少了一直以来的问题。

1.UCR系列的优点

辐射热引起的频率变化是同类产品中最小的

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水晶振动子个体差异的频率分布小

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再现性提高 变化小

安全性提高 温度特性变化小

波长选择  可选标准型530〜750nm和可见光谱型380〜760nm

膜质提高  直至测量极限都能稳定使用

长寿命   单枚水晶振动子的可使用时间延长

生产性提高 设备运行时间延长

在各种条件下都能更稳定地成膜

2.UCR系列对应的工艺

金属:AL,Cu,Au,Ag,Ni,Ti,Cr等
氧化物:SiO2,ZrO2,AL2O3等
有机材料:OLED面板

产品阵容有4MHz和5MHz,可支持各种成膜工艺,并且采用了爱发科独创的技术,有助于提高成膜工艺的质量和生产节拍。

3.水晶振动子UCR的规格

型号 UCR-4MAG-12 UCR-5MAU-12 UCR-5MAG12
用途 有机材料膜 (OLED面板) 金属膜、光学膜
频率 4MHz 5MHz
尺寸 φ12.4
电极 Ag Au Ag
对应成膜控制器 CRTM-9200 CRTM-6000G/CRTM-9200
可装载传感器 单传感器(CRTM-0, 4, 6)
多传感器(CRTM-12NS, M6)
电极表面 镜面抛光 标准光洁度
包装形态 多传感器兼容盒 (12 pcs)

HOW TO

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