晶体振荡式成膜控制器的基本知识
新水晶板UCR系列与原产品性能比较
UCR系列的Ulvac水晶板更新。
将新水晶板UCR系列的性能与传统产品进行了比较。
目录
1. 规格表
| 型号 | UCR-5MAU-12 | UCR-5MAG-12 | CR5G1 | CR5S1 | PKG5MHz金 | PKG5MHz銀 |
| 频率 | 5MHz | |||||
| 尺寸 | φ12.4 | |||||
| 电极 | Au | Ag | Au | Ag | Au | Ag |
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对应成膜控制器 |
CRTM-6000G/CRTM-9200 |
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| 可装载传感器 | 单传感器(CRTM-0, 4, 6) 多传感器(CRTM-12NS, M6) |
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| 电极表面 | 标准光洁度 | |||||
| 销售单位 | 12件1组 | 5张1盒 | 10件1组 | |||
2. 性能比较: Au
由于热冲击导致的频率变化
如果施加热量时频率上升较小，则热量的干扰影响较小，RATE的稳定性更好。 另外，如果各个数据间没有差异，则重现性更好。
在测试开始后10秒用卤素灯照射，30秒后停止照射所获得的数据。
ave:每个试件的平均波动量，σ:试件标准偏差
振荡频率的波动分布
频率波动量小（ΔF接近0）的个体越多，则测量越稳定。
在未成膜的状态下测量。
ΔF:频率波动量
3. 性能比较: Ag
由于热冲击导致的频率变化
如果施加热量时频率上升较小，则热量的干扰影响较小，RATE的稳定性更好。 另外，如果各个数据间没有差异，则重现性更好。
在测试开始后10秒用卤素灯照射，30秒后停止照射所获得的数据。
ave:每个试件的平均波动量，σ:试件标准偏差
振荡频率的波动分布
频率波动量小（ΔF接近0）的个体越多，则测量越稳定。
在未成膜的状态下测量。
ΔF:频率波动量