晶体振荡式成膜控制器的基本知识

UCR系列的Ulvac水晶板更新。
将新水晶板UCR系列的性能与传统产品进行了比较。

目录

1. 规格表
2. 性能比较: Au
3. 性能比较: Ag

1. 规格表

型号 UCR-5MAU-12 UCR-5MAG-12 CR5G1 CR5S1 PKG5MHz金 PKG5MHz銀
频率 5MHz
尺寸 φ12.4
电极 Au Ag Au Ag Au Ag

对应成膜控制器

CRTM-6000G/CRTM-9200
(支持包含上述内容的CRTM系列)

可装载传感器 单传感器(CRTM-0, 4, 6)
多传感器(CRTM-12NS, M6)
电极表面 标准光洁度
销售单位 12件1组 5张1盒 10件1组

2. 性能比较: Au

由于热冲击导致的频率变化

如果施加热量时频率上升较小,则热量的干扰影响较小,RATE的稳定性更好。 另外,如果各个数据间没有差异,则重现性更好。

在测试开始后10秒用卤素灯照射,30秒后停止照射所获得的数据。
ave:每个试件的平均波动量,σ:试件标准偏差
newucr_compare_Au_1.png

振荡频率的波动分布

频率波动量小(ΔF接近0)的个体越多,则测量越稳定。

在未成膜的状态下测量。
ΔF:频率波动量
newucr_compare_Au_2.png

3. 性能比较: Ag

由于热冲击导致的频率变化

如果施加热量时频率上升较小,则热量的干扰影响较小,RATE的稳定性更好。 另外,如果各个数据间没有差异,则重现性更好。

在测试开始后10秒用卤素灯照射,30秒后停止照射所获得的数据。
ave:每个试件的平均波动量,σ:试件标准偏差
newucr_compare_Ag_1.png

振荡频率的波动分布

频率波动量小(ΔF接近0)的个体越多,则测量越稳定。

在未成膜的状态下测量。
ΔF:频率波动量
newucr_compare_Ag_2.png

HOW TO

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