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成膜设备可选部件

其他

钟罩盖

アルバック



兼任钟罩的防护和把手。



规格

设备外部系统

名称 用途
钟罩盖 玻璃钟罩用手柄/防止玻璃飞散
钟罩支架 玻璃钟罩用手柄
玻璃钟罩 成膜用玻璃容器
金属钟罩(附水冷盘管) 钟罩防止内部过热 (昇降设备请另外购买)
昇降设备 钟罩升降用 (钟罩盖请另外购买)
馈通圈16端口 导入端口增设
控制操作盘 控制机器收纳
侧面板(控制操作盘用) 安全规定
背板(控制操作盘用) 安全规定

桌面型蒸发设备,仅可对应钟罩盖和玻璃钟罩。

ph_cover.jpg

■钟罩的保护手柄

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