冷陰極型真空計 | 真空計の選び方

真空計には測定する圧力帯によって測定原理を変えたものが用意されています。

冷陰極型真空計とは

他の真空計と比較して冷陰極型真空計の測定精度は良くありませんが、測定子とコントローラーで構成され、取り扱いが簡単、ユーザーで測定子内部の清掃ができる上、消耗品を交換する事ができる真空計です。

測定可能範囲は一般的には1.0×10^-4Pa～1Pa程度になります。

測定原理

冷陰極電離真空計はコールドカソードゲージ、逆マグネトロン型真空計とも呼ばれます。

測定子内には陰極・陽極があり、陰極を取り囲むように磁石を配置します。陰極-陽極間に高電圧を印加し放電させます。プラズマ放電すると陰極から電子が放出され、空気に衝突して、空気がプラスの性質をもったイオンとマイナスの性質を持った電子に分かれます。

このマイナスの性質を持った電子の数（電流値）を数えて圧力とします。測定する圧力が高いとマイナスをの性質を持った電子が多く、測定する圧力が低いとまいなすの性質を持った電子は少なくなります。

逆マグネトロン型真空計以外に、陽極・陰極、磁石の配置が異なるペニング型真空計も冷陰極型電離真空計の仲間です。

なぜ測定子の整備が必要なの？

放電現象によって陽極、陰極などの測定子内部に汚れが付着し放電困難、または放電不能状態になることがあります。これを防ぐために定期的な分解清掃や消耗が激しい場合は陽極や陰極の交換などの整備が必要です。