真空計の基礎知識
隔膜真空計 | 真空計の選び方
真空計には測定する圧力帯によって測定原理を変えたものが用意されています。
隔膜真空計とは
隔膜式真空計は測定精度が非常に高い真空計です。圧力を正確に測定したい場合に用いられます。
測定原理
隔膜式真空計の測定子内部は薄い隔膜があり、一方は測定したい空間につながり、一方はある一定の圧力（基準圧力）となっています。
基準圧力と測定したい空間に圧力差がある場合、圧力差によって隔壁がたわみます。このたわみ量から圧力を算出しています。
センサーヘッドの整備
隔膜式真空計の測定子は隔膜の交換ができない為、整備や修理は基本的には行えません。