真空計の基礎知識
ISG1の表示「F.F×10 F」
ディスプレイユニットISG1をご使用の際に「F.F×10 F」と表示されることがあります。
「F.F×10 F」は、使用中の真空計が測定圧力範囲を超えた状態で表示されるもので、エラーではありません。主な機種の表示状態については、取扱説明書や別表をご参照ください。
SW100-A/SW1-1
| 状態 | 圧力指示表示部 | LED部 |
| 正常測定時 | SW100-A: 5.0×10-2 Pa～1.0×10+5 Pa SW1-1: 5.0×10-2 Pa～1.0×10+5 Pa |
|
| 測定圧力範囲以下 | 0.0×10-2 Pa | |
| 測定圧力範囲以上 | F.F×10+F Pa | |
| フィラメント断線時 （フィラメント断線信号入力時） |
Err | ERROR点灯 |
| フィラメント断線時 （フィラメント断線信号未入力時） |
Err | |
| センサユニット未接続時 | ーーー | ERROR点灯 |
SP1
| 状態 | 圧力指示表示部 | LED部 |
| 正常測定時 | 4.0×10-1 Pa～3.0×10+3 Pa | |
| 測定圧力範囲以下 | 0.0×10-1 Pa | |
| 測定圧力範囲以上 | F.F×10+F Pa | |
| フィラメント断線時 （フィラメント断線信号入力時） |
Err | ERROR点灯 |
| フィラメント断線時 （フィラメント断線信号未入力時） |
Err | |
| センサユニット未接続時 | ーーー | ERROR点灯 |
SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 単体
| 状態 | 圧力指示表示部 | LED部 |
| 正常測定時 | 5.0×10-8 Pa～1.0×10+1 Pa | |
| 測定圧力範囲以下 | 0.0×10-8 Pa | |
| 測定圧力範囲以上 かつ圧力保護信号入力時 |
Prt | |
| 測定圧力範囲以上 かつ圧力保護信号未入力時 |
Fi0 | |
| 電源投入時 | FiF | |
| フィラメント ON 直後 | Fi0 | |
| デガス ON 時 | 圧力指示 | DEG点灯 |
| エミッションバリッド OFF時 | 圧力指示 | ERROR点滅 |
SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 SPUコンビネーション
| 状態 | 圧力指示表示部 | LED部 |
| 正常測定時 | 5.0×10-8 Pa～1.0×10+4 Pa | |
| 測定圧力範囲以下 | 0.0×10-8 Pa | |
| 測定圧力範囲以上 | F.F×10+F Pa | |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 エラー時 （エラー信号入力時） |
1.0×10-1 Pa 以上圧力表示 | ERROR点灯 |
| ピラニゲージエラー時 （エラー信号入力時） |
Err（セットポイントOFF） | ERROR点灯 |
| ピラニゲージエラー時 （エラー信号未入力時） |
Err（セットポイントOFF） | ERROR点灯 |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 エミッションバリッド OFF時 |
圧力表示（セットポイントOFF） | ERROR点滅 |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 デガス ON時 |
圧力表示 | DEG点灯 |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 フィラメント強制 OFF時 |
1.0×10-1 Pa 以上圧力表示 | ZERO点灯 |
SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 SAUコンビネーション
| 状態 | 圧力指示表示部 | LED部 |
| 正常測定時 | 5.0×10-8 Pa～1.0×10+5 Pa | |
| 測定圧力範囲以下 | 0.0×10-8 Pa | |
| 測定圧力範囲以上 | F.F×10+F Pa | |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 エラー時 （エラー信号入力時） |
1.0×10-1 Pa 以上圧力表示 | ERROR点灯 |
| SWU10-R/SPUエラー時 （エラー信号入力時） |
1.0×10-1 Pa 以上圧力表示 | ERROR点灯 |
| SWU10-R/SPUエラー時 （エラー信号未入力時） |
Err（セットポイントOFF） | ERROR点灯 |
| SAUエラー時（エラー信号未入力時） | Err（セットポイントOFF） | ERROR点灯 |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 エミッションバリッド OFF時 |
圧力表示（セットポイントOFF） | ERROR点滅 |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 デガス ON時 |
圧力表示 | DEG点灯 |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 フィラメント強制 OFF時 |
1.0×10-1 Pa 以上圧力表示 | ZERO点灯 |
SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 SWUコンビネーション
| 状態 | 圧力指示表示部 | LED部 |
| 正常測定時 | 5.0×10-8 Pa～1.0×10+5 Pa | |
| 測定圧力範囲以下 | 0.0×10-8 Pa | |
| 測定圧力範囲以上 | F.F×10+F Pa | |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 エラー時 （エラー信号入力時） |
1.0×10-1 Pa 以上圧力表示 | ERROR点灯 |
| SWUエラー時 （エラー信号入力時） |
Err（セットポイントOFF） | ERROR点灯 |
| SWUエラー時 （エラー信号未入力時） |
Err（セットポイントOFF） | ERROR点灯 |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 エミッションバリッド OFF時 |
圧力表示（セットポイントOFF） | ERROR点滅 |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 デガス ON時 |
圧力表示 | DEG点灯 |
| SH200-A/ST200-A/SH2-1/ST2-1 フィラメント強制 OFF時 |
1.0×10-1 Pa 以上圧力表示 | ZERO点灯 |