检漏仪的基础知识

(1)运转中请勿振动

由于涡轮分子泵高速旋转,在有振动的地方使用或在运行过程中随意移动设备会损坏涡轮分子泵。

<HELIOT停止画面>
显示涡轮分子泵的转速
point1_1.JPG

(2)压力突然上升时请注意

分析管压力的增加会导致离子源灯丝烧坏和分析管内部的污染。 灵敏度下降,对涡轮分子泵的损害不断累积。

分析管中压力升高的主要原因是在使用真空法时被测物被无意中分离了。尽管搭载了超过连接容许压力时的互锁功能,但无法完全防止分析管中的压力上升。

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HOW TO

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