检漏仪的基础知识

氦气检漏

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氦气检漏是一种使用检漏仪,从真空内氦分压变化中检漏的测量方法。
其他的检测方法是根据体积、压力、真空度等进行判断,与此相对,氦气检漏可以不依赖于操作人员的技能,即可获得压倒性的高灵敏度、高精度。
即使泄漏很小,也不必花费很长的判断时间,因此可以快速检测。
另外,氦气是安全的惰性气体,可以很环保的检漏。

除氦气检漏以外的检漏方式

(1)加压检测

(a)加圧放置法 (b)差圧法(AirLeak) ©水没法
压缩空气压力、降低压力确认整体泄漏量 空气压缩后,与模拟泄露Work的压力下降比较 T在空气加压水中检查气泡

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(d)水圧法 (e)肥皂水的涂抹法 (f)卤素气体探测法
通过施加水压检查是否漏水 通过施加气压目测气泡 用冷媒气体加压并使用气体检测仪

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(g)染料渗透检测
渗透剂(有色)与空气一起加压,目测。

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(2)真空检测

(h)真空放置法(build up) (i)液体涂布法(酒精检查)
通过关闭真空排气口并增加压力来检查总泄漏率
无法检测泄漏点
抽真空,用酒精等涂料,检查极限压力的变化。
探测泄露点的方法

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各种泄漏测试方法的特征比较

灵敏度高↓

判定材料 加压检测法 真空检测法

(体積)
・水没法
・水圧法
・肥皂水的涂抹法
圧力
(全圧)
・加圧放置法
・差圧法
・真空放置法
・液体涂布法
分圧 ・卤素气体探测法
・氦气检漏
・氦气检漏

   加圧・真空都OK

■ 各检测方法的特征

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