氦气检漏
氦气检漏是一种使用检漏仪，从真空内氦分压变化中检漏的测量方法。
其他的检测方法是根据体积、压力、真空度等进行判断，与此相对，氦气检漏可以不依赖于操作人员的技能，即可获得压倒性的高灵敏度、高精度。
即使泄漏很小，也不必花费很长的判断时间，因此可以快速检测。
另外，氦气是安全的惰性气体，可以很环保的检漏。
除氦气检漏以外的检漏方式
(1)加压检测
| (a)加圧放置法 | (b)差圧法(AirLeak) | ©水没法 |
| 压缩空气压力、降低压力确认整体泄漏量 | 空气压缩后，与模拟泄露Work的压力下降比较 | T在空气加压水中检查气泡 |
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| (d)水圧法 | (e)肥皂水的涂抹法 | (f)卤素气体探测法 |
| 通过施加水压检查是否漏水 | 通过施加气压目测气泡 | 用冷媒气体加压并使用气体检测仪 |
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| (g)染料渗透检测 | ||
| 渗透剂（有色）与空气一起加压，目测。 | ||
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(2)真空检测
| (h)真空放置法（build up） | (i)液体涂布法（酒精检查） |
| 通过关闭真空排气口并增加压力来检查总泄漏率 无法检测泄漏点 |
抽真空，用酒精等涂料，检查极限压力的变化。 探测泄露点的方法 |
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各种泄漏测试方法的特征比较
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灵敏度高↓ |
判定材料 | 加压检测法 | 真空检测法 |
| 量 (体積) |
・水没法 ・水圧法 ・肥皂水的涂抹法 |
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| 圧力 (全圧) |
・加圧放置法 ・差圧法 |
・真空放置法 ・液体涂布法 |
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| 分圧 | ・卤素气体探测法 ・氦气检漏 |
・氦气检漏 |
加圧・真空都OK
■ 各检测方法的特征
