检漏仪的基础知识

He检漏的测试方法根据「JIS-Z2331」,规定了代表性的方法。

(1)真空喷涂法(Spray法)

・一种在试验体内抽真空,用喷吹探头在试验体外侧喷涂氦气,检测泄漏到试验体内的氦气的方法。
・最适合于微漏部位的检测,适用于较小泄漏的检测,需要对整个试验体的泄漏量进行定量化时,最好采用真空包裹法。

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(2)真空包裹法(真空罩法)

・一种将试验体内部抽真空,在试验体外侧罩上,罩内充满氦气,检测试验体内泄漏的氦气的方法。
・对可抽真空的整个试验体的泄漏情况进行无遗漏的检测,可以对泄漏量进行定量化,但由于泄漏位置不能确定,需要确定泄漏位置时,采用真空喷涂法。

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(3)吸气法(吸枪法)

・将试验体内部用氦气加压,从泄漏处泄漏到外部的氦气用连接到检漏仪的吸入探头进行吸入,检测泄漏的方法。
・如下所示,是确定泄漏位置的有效方法。
・以高于大气压的压力进行泄漏检查时
・形状复杂且不能覆盖测试位置时
・当加压积分法中出现较大泄漏时,确定其泄漏位置时

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(4)加压积分法

・用氦气对试验体进行加压,从泄漏处向外部泄漏的氦气用覆盖在试验部的罩(覆盖材料)捕集,用连接到检漏仪的吸枪探头吸引检测的方法。
・由于泄漏的氦气会存储一定的时间,并且浓度会增加,较吸气法更能有效地检测泄漏。另外,还适用于在高于大气压的压力下进行高精度泄漏检查的场合。

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(5)吸盘法(Suction cup法)

・将试验体部分抽真空的方法。
・适用于大型真空容器、其它压力容器等,根据制作过程或产品状态,不能对整体进行抽真空或加压的场合。
・应用例
・大型真空容器的制作过程中的行程检查
・确认局部有无泄漏的检查

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(6)真空容器法(Bellger法)

・将试验体放入真空容器(钟罩)中,将其外围抽真空,将检查品的内部用大气或其以上用氦气加压、检测泄漏的方法。
・由于能够得到与真空法相同的高检测灵敏度,因此,与加压法中的吸枪法以及加压积分法相比,适用于高检测灵敏度要求的场合。不过,由于无法知道泄漏位置,因此需要了解泄漏位置时,还需要考虑其他的检查方法。

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(7)浸入法(Bombing法)

・将试验体放入试验容器(加压)内用氦气进行一定时间加压后取出,在真空容器内对试验体外进行真空排气。如果试验体有泄漏,则当氦气被加压时,一些氦气会进入试验体中,然后进入真空中。这是一种通过检漏仪检测,发现泄漏的方法。
・适用于判定内部空间为真空或空气或气体充填的密闭容器(比如,封装IC,水晶振动子)的密封效果或气密性的方法。

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(8)微压法 (※)

・针对不能承受压力差的产品,ULVAC致力于应用的开发,在各方面积累了实际成果。通过氦气可以实现高精度且高速的检查。
由与使用抽吸泵的薄片法相近的排气系统构成,使在LD连接压力以上的高压力条件下的测试成为可能。可以任意设定压力。

〇密封品的应用例: 药品包装、医用包装等
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〇喷涂法的应用例: 承受压力差能力弱的容器等

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(※) 微压法是爱发科的术语。

如何确定测试方法

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(※)微压法(爱发科术语):适用于承受压力差能力弱的被测物

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