检漏仪的基础知识

(1)氦气的特征

特征 优点
1 大气中含量低(5ppm) 噪音值低
2 质量数为4的离子 易于通过质谱鉴定其他气体
3 分子直径小 容易穿过小孔
4 无毒,不易燃,惰性 可安全用于各种场所,环境和产品
5 吸附能量低 进入后易于排气
6 非碳氟化合物气体 不损害地球环境

(2)设备结构

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ANALYZER:分析管
TMP:主排气泵
FV:前级阀
FP:辅助兼粗抽泵
TV1:微小泄露用测试阀
TV2:小泄露用测试阀
TV3:大泄露用测试阀
TEST PORT:Work连接口
PG:皮拉尼真空计
CAL:校正漏孔
CLV:校正漏孔、排气阀
VV:排气阀
VENT PORT:大气压返回口

(3)分析管

磁偏转型质谱

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① 离子生成(离子源)
・到达分析管的气体分子通过灯丝的热电子转化成正电荷离子
・在加速电压作用下,向一个方向加速移动

② 离子分选
1. 当带正电荷的离子通过磁场时,轨道会旋转,『左手定则』现象。
2. 此时根据每个气体的质量来区分轨道
・He(质量数4)调整到中心轨迹
・在自然大气中,质量数3非常少,并且质量数5不存在,因此质量数4非常易于识别。

③ 离子収集(离子收集器)
1. 只有带正电荷的He离子才能到达电极板
2. 与He离子的量相应的微弱电流

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离子收集器的电流值根据真空中He的分压水平而变化。

(4)主排气真空泵

采用复合分子泵实现反扩散效应
分析管压力保持不变,测试端口可以以更高的压力连接。

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※反扩散效应:He等一些难于排气的微小气体分子通过分子泵到达分析管

(5)校正漏孔

为了将分析管的He分压水平变换为泄漏量单位的「泄漏基准器」

薄膜型 真空法用/E-7, E-8, E-9, E-10 Pa・m3/sec台
He内置。利用玻璃透过现象。具有温度系数和老化衰减系数。

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通道型 主要用于吸枪(真空法也可)/E-4, E-5, E-6 Pa・m3/sec台
He由外部供给。在真空法中,He在大气压(压差0.1 MPa)下使用。 适用于较大泄漏的结构。

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(6)灵敏度校准

设备(LD)可以检测到的最小电流值表示的泄漏量称为灵敏度,数值越小,灵敏度越好。
通过测量校正漏孔来校准灵敏度。

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(7)最小可检测漏量

用标准空气泄漏表示的最小的泄漏,可以被测漏仪清楚地检测出来。

(8)基本动作(真空法:Auto Flow)

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(9)基本动作(吸枪法)

一种通过在Work内部填充和加压He来检测He泄漏到外部(大气中)的方法。

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将吸枪单元连接到测试端口。
使用吸枪单元,LD测试端口保持在使TV2可以连续运行的压力。
除了通过探针尖端的孔口来控制压力的常规类型外,爱发科还具有配备吸引用泵的类型。

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