(1)氦气的特征
| 特征 | 优点 | |
|---|---|---|
| 1 | 大气中含量低（5ppm） | 噪音值低 |
| 2 | 质量数为4的离子 | 易于通过质谱鉴定其他气体 |
| 3 | 分子直径小 | 容易穿过小孔 |
| 4 | 无毒，不易燃，惰性 | 可安全用于各种场所，环境和产品 |
| 5 | 吸附能量低 | 进入后易于排气 |
| 6 | 非碳氟化合物气体 | 不损害地球环境 |
(2)设备结构
| ANALYZER：分析管 TMP：主排气泵 FV：前级阀 FP：辅助兼粗抽泵 |
TV1：微小泄露用测试阀 TV2：小泄露用测试阀 TV3：大泄露用测试阀 TEST PORT：Work连接口 |
PG：皮拉尼真空计 CAL：校正漏孔 CLV：校正漏孔、排气阀 VV：排气阀 VENT PORT：大气压返回口 |
(3)分析管
磁偏转型质谱
- ① 离子生成(离子源)
- ・到达分析管的气体分子通过灯丝的热电子转化成正电荷离子
・在加速电压作用下，向一个方向加速移动
- ② 离子分选
- 1. 当带正电荷的离子通过磁场时，轨道会旋转，『左手定则』现象。
2. 此时根据每个气体的质量来区分轨道
・He（质量数4）调整到中心轨迹
・在自然大气中，质量数3非常少，并且质量数5不存在，因此质量数4非常易于识别。
- ③ 离子収集(离子收集器)
- 1. 只有带正电荷的He离子才能到达电极板
2. 与He离子的量相应的微弱电流
离子收集器的电流值根据真空中He的分压水平而变化。
(4)主排气真空泵
采用复合分子泵实现反扩散效应
分析管压力保持不变，测试端口可以以更高的压力连接。
※反扩散效应：He等一些难于排气的微小气体分子通过分子泵到达分析管
(5)校正漏孔
为了将分析管的He分压水平变换为泄漏量单位的「泄漏基准器」
薄膜型 真空法用／E-7, E-8, E-9, E-10 Pa･m3/sec台
He内置。利用玻璃透过现象。具有温度系数和老化衰减系数。
He内置。利用玻璃透过现象。具有温度系数和老化衰减系数。
通道型 主要用于吸枪（真空法也可）／E-4, E-5, E-6 Pa･m3/sec台
He由外部供给。在真空法中，He在大气压（压差0.1 MPa）下使用。 适用于较大泄漏的结构。
(6)灵敏度校准
设备（LD）可以检测到的最小电流值表示的泄漏量称为灵敏度，数值越小，灵敏度越好。
通过测量校正漏孔来校准灵敏度。
(7)最小可检测漏量
用标准空气泄漏表示的最小的泄漏，可以被测漏仪清楚地检测出来。
(8)基本动作(真空法：Auto Flow)
(9)基本动作(吸枪法)
一种通过在Work内部填充和加压He来检测He泄漏到外部（大气中）的方法。
将吸枪单元连接到测试端口。
使用吸枪单元，LD测试端口保持在使TV2可以连续运行的压力。
除了通过探针尖端的孔口来控制压力的常规类型外，爱发科还具有配备吸引用泵的类型。
