检漏时的注意点|检漏仪的基础知识|技术知识|ULVAC SHOWCASE

检漏仪的基础知识

(1)He使用的适当位置

注意空调和下风处,以免He被风吹走。 *除真空喷涂法外,吸枪法也需要注意

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(2)泄漏点探寻的顺序很重要

由于He是轻气体,所以会向上移动。 如果不减少喷洒的He量,则很难确定位置。
*真空喷涂法自上而下,吸枪法自下而上。

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(3)测量中的时间常数

根据被测物的形状,需要的检测时间不同。
*在吸枪法中,反应速度会根据软管长度而变化。

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(4)不要过度使用He,使用适量。

如果在含橡胶材质等的o-ring处连续使用He,则会发生"渗透"现象。
虽然被渗透的o-ring放置一定时间可以再利用,但控制He的使用量是必要的。
*检查微小泄漏时必须格外注意。

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(5)吸枪法的环境整备

在吸入大气中的嗅探法中,大气中的He浓度(背景值)会使检测下限变差。
*注意检查后的He排放和压力管的连接错误。

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(6)ZERO校正的适当运用

使用He引起的"变化量"为"泄漏量"。 因此,通过将显示为背景的数值设定为0.0的"ZERO校正功能",可以显示更准确的泄漏量。
*如果判断值与背景值相差几位数,影响很少可以忽略不计。 ZERO校正在背景值稳定的状态下使用。

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