氦气检漏仪是用于使用氦气的泄漏检查（以下称为氦气检漏）中识别泄漏量和位置的检查装置。氦气检漏在检漏中具有最高的灵敏度，可以在短时间内高精度地检查微小的泄漏，因此，可用于需要检漏的所有领域，包括各种管道结构，电子设备，空调，冰箱，汽车，食品，药品包装和医疗设备的生产线。
■ 漏的定义
气体穿过壁孔移动的现象
■ 漏的单位
Pa･m3/sec
- 单位时间[sec]气体移动的体积（绝对圧力[Pa]×容积 [m3])
- 由于是很小的数值一般表示为2～3位有效数字的指数 (*.**E-*Pa･m3/sec)
- 计算符号为
转换为其他流量单位
| Pa･m3/sec | mbar･l/sec | Torr･l/sec | atm･cc/sec | lusec | sccm | slm | Mol/sec |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 1 | 10 | 7.5 | 9.87 | 7500 | 592 | 0.592 | 0.000441 |
・Torr和atm在日本国内不能使用，因为它们不是SI单位。
・例如，2.5E-8Pa·m3/sec，很多时候口头上省略为"2.5乘负8"
■ 行业检查标准（参考）
| Q [Pa･m3/sec] | E-3 〜 E-5 | E-5 〜 E-7 | E-9 〜 E-10 | E-11 〜 E-12 |
|---|---|---|---|---|
| 对象 | 水管 气管 |
空調 热交换器 压塑机 汽车部件 |
真空部品 | 核电 航天相关 |
