故障排除

低温泵的设计、制作确保了其高度的可靠性和长时间连续运行的可能性。
然而,为了保证低温泵在最佳状态下运行,必须进行定期保养。
在日常点检中确认重要事项,可以防患于未然。


保养·点检的7要点

[低温泵]

1. 低温泵的温度
(确认冷凝板的温度)
20K以下→正常
20K以上→异常
2. K热电偶测出的屏蔽筒温度
(确认K热电偶的电动势)
-5.5mV~-7.0mV→正常
-5.5mV以上→异常
(上述均为室温20℃的条件下)
3. 低温泵的声音、振动
(听觉、体感)
周期性的、有规律的→正常
不规律→异常

[压缩机]

4. 运行中的氦气(供给)压力
(读取压缩机的压力计[SUPPLY]进行确认)
各机型数值不同,请根据说明书进行判断
5. 累计(时间)表(E.T.M)
(通过压缩机的时间累计表确认运行时间)
各机型不同,请根据说明书对油吸附器、冷冻机密封件和轴承件等进行更换
6. 压缩机的声音、振动(听觉、体感)
7. 冷却水的流量、入口温度(水冷的情况)
(确认冷却水的流量、入口温度)
参照说明书中的图表

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