故障排除
低温泵 - 保养·点检的7要点
低温泵的设计、制作确保了其高度的可靠性和长时间连续运行的可能性。
然而，为了保证低温泵在最佳状态下运行，必须进行定期保养。
在日常点检中确认重要事项，可以防患于未然。
保养·点检的7要点
[低温泵]
| 1. | 低温泵的温度 （确认冷凝板的温度） |
→ | 20K以下→正常 20K以上→异常 |
| 2. | K热电偶测出的屏蔽筒温度 （确认K热电偶的电动势） |
→ | -5.5mV～-7.0mV→正常 -5.5mV以上→异常 （上述均为室温20℃的条件下） |
| 3. | 低温泵的声音、振动 （听觉、体感） |
→ | 周期性的、有规律的→正常 不规律→异常 |
[压缩机]
| 4. | 运行中的氦气（供给）压力 （读取压缩机的压力计[SUPPLY]进行确认） |
→ | 各机型数值不同，请根据说明书进行判断 |
| 5. | 累计(时间)表(E.T.M) （通过压缩机的时间累计表确认运行时间） |
→ | 各机型不同，请根据说明书对油吸附器、冷冻机密封件和轴承件等进行更换 |
| 6. | 压缩机的声音、振动（听觉、体感） | ||
| 7. | 冷却水的流量、入口温度（水冷的情况） （确认冷却水的流量、入口温度） |
→ | 参照说明书中的图表 |