故障排除
低温泵的设计、制作确保了其高度的可靠性和长时间连续运行的可能性。
但是故障仍有可能发生，因此针对简单的故障，有必要预先了解故障诊断及对策·应急处理的方法。
使用的低温泵数量较多，且一旦停机就会对设备产生巨大影响的情况，客户可备好预备机。
针对低温泵的故障诊断在各机型说明书中有详细说明，在此对故障案例和对应的应急处理方法进行简单说明。
(注记)如果出现故障无法自行处理的情况，请联系敝公司或最近的服务网点。
■故障案例[1] 低温泵排气性能差。
■故障案例[2] 氦气压偏低。
■故障案例[3] 低温泵的冷却降温时间较长，或者比初始变长。
■故障案例[4] 低温泵的异常音·异常振动。
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