使用上的注意点
- 由于灵敏度是用氮气校准的，因此，如果残留气体的主要成分不是氮气，则会显示与实际压力不同的值。
- 在测量含氧和水蒸气的气体时，灯丝会起反应并且劣化严重。
为了减少消耗，需要降低电流，或者使用表面处理过的灯丝。 - 测量10-4Pa台以下压力时，必须对测定子进行脱气处理。
当开始脱气时，由于大量释放气体，压力会增加，测定子可能会被污染。脱气必须要10-4Pa台以下进行。 - 在压力高的地方(三极管形:10-1Pa以上)连续使用的话，灯丝的消耗会变大，一定量的放出电流将无法去除，需要注意。
故障检查表
1. 测定子的灯丝点亮
2. 测定子的灯丝发光异常(比通常时亮)
3. 灯丝点亮，但是不显示压力
4. 灯丝一瞬间点亮，但马上消失了
5. 指示值波动
6. 指示值与预期压力明显不同
7. 不输出设定值信号
1. 测定子的灯丝点亮
| 原因 | 处理方法 |
|---|---|
| 灯丝断线 | 更换测定子 |
| 测定子电缆断线 | 测定子电缆修理，更换 |
| 压力高 | 皮拉尼真空计等压力确认 |
| 灯丝选择切换设定错误 | 选择正确的灯丝 |
2. 测定子的灯丝发光异常(比通常时亮)
| 原因 | 处理方法 |
|---|---|
| 测定子电缆断线 | 测定子电缆修理，更换 |
| 控制器故障 | 委托修理 |
| 测定子劣化 | 更换测定子 |
3. 灯丝点亮，但是不显示压力
| 原因 | 处理方法 |
|---|---|
| 测定子电缆断线 | 测定子电缆修理，更换 |
| 控制器故障 | 委托修理 |
4. 灯丝一瞬间点亮，但马上消失了
| 原因 | 处理方法 |
|---|---|
| 测量压力高，保护电路启动 | C皮拉尼真空计等压力确认 |
| 控制器故障 | 委托修理 |
5. 指示值波动
| 原因 | 处理方法 |
|---|---|
| 测定子或测定子安装连接部真空泄露 | 更换测定子或改善连接部的真空泄露 |
| 测定子污染 | 更换测定子 |
| 测定子电缆振动 | 如果测定子电缆不断振动，指示值可能会由于测定子电缆内部的摩擦电动势而波动，请重新检查电缆的安装方法 |
6. 指示值与预期压力明显不同
| 原因 | 处理方法 |
|---|---|
| 产生漏电流 | 测定子污染或测定子电缆的绝缘不良，需要更换 |
| ・灵敏度系数设置不对 ・被测气体不是氮气或空气（air） |
根据手册正确设置 |
| 实际压力预期不同 | 用其他真空计检查 |
7. 不输出设定值信号
| 原因 | 处理方法 |
|---|---|
| 控制器中的继电器 | 继电器故障 → 委托修理 |
| 发出的电流无法正常获取 | 发出为NG时，设定信号的输出会被取消 → 更换测定子 |
发出电流消失的原因和对策
| 原因 | 处理方法 |
|---|---|
| 压力高（10-1Pa以上） | 确认排气系统 |
| 灯丝断裂 | 更换测定子 |
| 灯丝消耗 | 更换测定子 |
| 测定子内部污染 | 更换测定子 |
| 测定子电缆接触不良 | 重新连接或更换测定子电缆 |
| 控制器内电路故障 | 委托修理 |