故障排除

使用上的注意点

  1. 由于灵敏度是用氮气校准的,因此,如果残留气体的主要成分不是氮气,则会显示与实际压力不同的值。
  2. 在测量含氧和水蒸气的气体时,灯丝会起反应并且劣化严重。
    为了减少消耗,需要降低电流,或者使用表面处理过的灯丝。
  3. 测量10-4Pa台以下压力时,必须对测定子进行脱气处理。
    当开始脱气时,由于大量释放气体,压力会增加,测定子可能会被污染。脱气必须要10-4Pa台以下进行。
  4. 在压力高的地方(三极管形:10-1Pa以上)连续使用的话,灯丝的消耗会变大,一定量的放出电流将无法去除,需要注意。

故障检查表

1. 测定子的灯丝点亮
2. 测定子的灯丝发光异常(比通常时亮)
3. 灯丝点亮,但是不显示压力
4. 灯丝一瞬间点亮,但马上消失了
5. 指示值波动
6. 指示值与预期压力明显不同
7. 不输出设定值信号

1. 测定子的灯丝点亮

原因 处理方法
灯丝断线 更换测定子
测定子电缆断线 测定子电缆修理,更换
压力高 皮拉尼真空计等压力确认
灯丝选择切换设定错误 选择正确的灯丝

2. 测定子的灯丝发光异常(比通常时亮)

原因 处理方法
测定子电缆断线 测定子电缆修理,更换
控制器故障 委托修理
测定子劣化 更换测定子

3. 灯丝点亮,但是不显示压力

原因 处理方法
测定子电缆断线 测定子电缆修理,更换
控制器故障 委托修理

4. 灯丝一瞬间点亮,但马上消失了

原因 处理方法
测量压力高,保护电路启动 C皮拉尼真空计等压力确认
控制器故障 委托修理

5. 指示值波动

原因 处理方法
测定子或测定子安装连接部真空泄露 更换测定子或改善连接部的真空泄露
测定子污染 更换测定子
测定子电缆振动 如果测定子电缆不断振动,指示值可能会由于测定子电缆内部的摩擦电动势而波动,请重新检查电缆的安装方法

6. 指示值与预期压力明显不同

原因 处理方法
产生漏电流 测定子污染或测定子电缆的绝缘不良,需要更换
・灵敏度系数设置不对
・被测气体不是氮气或空气(air)
根据手册正确设置
实际压力预期不同 用其他真空计检查

7. 不输出设定值信号

原因 处理方法
控制器中的继电器 继电器故障 → 委托修理
发出的电流无法正常获取 发出为NG时,设定信号的输出会被取消 → 更换测定子

发出电流消失的原因和对策

原因 处理方法
压力高(10-1Pa以上) 确认排气系统
灯丝断裂 更换测定子
灯丝消耗 更换测定子
测定子内部污染 更换测定子
测定子电缆接触不良 重新连接或更换测定子电缆
控制器内电路故障 委托修理

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