故障排除

油扩散泵及油回转泵的工作油相互混入的原因和对策

1. 油回转泵内混入油扩散泵的油
2. 油扩散泵内混入油回转泵的油

1. 油回转泵内混入油扩散泵的油

原因 对策・结果
场所 现象 理由
泵本体 ・锅炉部漏 ・冷却水不足时运行
・油不足时运行
・杂质导致分留板内的部分缺油
・消除泄漏
冷却水系统 ・水量不足
・流向错误
・泵壁温度升高
・油蒸气的再蒸发增加
・冷却水管理
负荷侧 ・气体负荷过大 ・发生泄露
・主阀无法完全关闭
・消除泄漏

2. 油扩散泵内混入油回转泵的油

原因 对策・结果
场所 现象 理由
辅助泵侧 油回转真空泵停止时忘记大气压排放 油回转泵的油由于压差而向油扩散泵侧移动 油回转泵停止时进行大气导入
油回转泵在40Pa以下连续运行 油逆流多的领域运行 在油回转泵和油扩散泵之间安装捕集器

油扩散泵的油回流,混入的原因和对策

原因 対策・結果
場所 現象 理由
泵本体 ・喷射的设定不良
・油未分留
・变形,缝隙不合适 ・缝隙修正,更换喷头
・油量过多 ・适量的油
挡板

捕集器形状
・不是均一的冷却结构 ・由于温度不均匀而无法捕获油 ・反省挡板的结构
・没有光学阻挡 ・热量流入,温度升高,油重新蒸发
冷却捕集器 ・捕集器温度不稳定
・捕集器冷
・冷却时间不对
・冷却不足
・从负载侧流入热量
・回流多时不能冷却
・补充冷媒
・油扩散泵启动和停止时先冷却一会儿
负荷侧 ・气体负荷过多
・吸入压高
・负荷超过最大排气量
(泄露或放出气体)
・消除过剩的气体负荷
・油回转泵粗抽不足状态下油扩散泵就开始排气 ・真空槽排气到40Pa后,用油扩散泵进行主抽
冷却水 ・水温不适当
・水量不足
・油扩散泵壁冷却不足 ・适当的水温
・确保水量
・流向错误 ・吸气侧出口为冷却水的入口,作为排气侧管道
辅助泵侧 ・不运作 ・不能低于临界背压 ・确保辅助泵的状况低于临界背压
・边使用气镇边排气 ・压力高于临界背压 ・确保辅助泵的状况低于临界背压

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