油扩散泵及油回转泵的工作油相互混入的原因和对策
1. 油回转泵内混入油扩散泵的油
2. 油扩散泵内混入油回转泵的油
1. 油回转泵内混入油扩散泵的油
| 原因 | 对策・结果 | ||
|---|---|---|---|
| 场所 | 现象 | 理由 | |
| 泵本体 | ・锅炉部漏 | ・冷却水不足时运行 ・油不足时运行 ・杂质导致分留板内的部分缺油 |
・消除泄漏 |
| 冷却水系统 | ・水量不足 ・流向错误 |
・泵壁温度升高 ・油蒸气的再蒸发增加 |
・冷却水管理 |
| 负荷侧 | ・气体负荷过大 | ・发生泄露 ・主阀无法完全关闭 |
・消除泄漏 |
2. 油扩散泵内混入油回转泵的油
| 原因 | 对策・结果 | ||
|---|---|---|---|
| 场所 | 现象 | 理由 | |
| 辅助泵侧 | 油回转真空泵停止时忘记大气压排放 | 油回转泵的油由于压差而向油扩散泵侧移动 | 油回转泵停止时进行大气导入 |
| 油回转泵在40Pa以下连续运行 | 油逆流多的领域运行 | 在油回转泵和油扩散泵之间安装捕集器 | |
油扩散泵的油回流，混入的原因和对策
| 原因 | 対策・結果 | ||
|---|---|---|---|
| 場所 | 現象 | 理由 | |
| 泵本体 | ・喷射的设定不良 ・油未分留 |
・变形，缝隙不合适 | ・缝隙修正，更换喷头 |
| ・油量过多 | ・适量的油 | ||
| 挡板 ・ 捕集器形状 |
・不是均一的冷却结构 | ・由于温度不均匀而无法捕获油 | ・反省挡板的结构 |
| ・没有光学阻挡 | ・热量流入，温度升高，油重新蒸发 | ||
| 冷却捕集器 | ・捕集器温度不稳定 ・捕集器冷 ・冷却时间不对 |
・冷却不足 ・从负载侧流入热量 ・回流多时不能冷却 |
・补充冷媒 ・油扩散泵启动和停止时先冷却一会儿 |
| 负荷侧 | ・气体负荷过多 ・吸入压高 |
・负荷超过最大排气量 （泄露或放出气体） |
・消除过剩的气体负荷 |
| ・油回转泵粗抽不足状态下油扩散泵就开始排气 | ・真空槽排气到40Pa后，用油扩散泵进行主抽 | ||
| 冷却水 | ・水温不适当 ・水量不足 |
・油扩散泵壁冷却不足 | ・适当的水温 ・确保水量 |
| ・流向错误 | ・吸气侧出口为冷却水的入口，作为排气侧管道 | ||
| 辅助泵侧 | ・不运作 | ・不能低于临界背压 | ・确保辅助泵的状况低于临界背压 |
| ・边使用气镇边排气 | ・压力高于临界背压 | ・确保辅助泵的状况低于临界背压 | |
