故障排除

Step1. 清理和老化

执行清理,并将其在"测试状态"暂时放置一段时间。 如果在吸入大量He后有影响的话,将其恢复。

Step2.治具密封部检查

检查测试端口,治具的法兰面和o-ring是否有划痕和异物。 如果有外部泄漏,背景值不会下降。

Step3. 离子源更换

如果原因是灯丝变质或电极板污染,则可以通过更换一体型离子源来恢复灵敏度。 可以在数据屏幕上检查灵敏度的恢复。

Step4. 更换OIL(油回转泵型)

OIL不足,白色混浊(水混入)等状态会成为背景上升的原因。

Step5. 由制造商检查和维护

整体检查并维护排气系统,分析管的O/H,泄漏等。

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