故障排除

检漏仪

Step1．清理和老化

执行清理，并将其在"测试状态"暂时放置一段时间。如果在吸入大量He后有影响的话，将其恢复。

Step2．治具密封部检查

检查测试端口，治具的法兰面和o-ring是否有划痕和异物。如果有外部泄漏，背景值不会下降。

Step3．离子源更换

如果原因是灯丝变质或电极板污染，则可以通过更换一体型离子源来恢复灵敏度。可以在数据屏幕上检查灵敏度的恢复。

Step4．更换OIL（油回转泵型）

OIL不足，白色混浊（水混入）等状态会成为背景上升的原因。

Step5．由制造商检查和维护

整体检查并维护排气系统，分析管的O/H，泄漏等。

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故障排除

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