皮拉尼真空计|故障排除|技术知识|ULVAC SHOWCASE

故障排除

使用上的注意点

  1. 皮拉尼真空计是利用了气体的热传导的真空计,根据气体的种类不同,压力的表示也会产生差异。
    真空计是使用氮气或者空气进行校正的。真空槽内的气体如果是此外的气体或混合气体,就有必要进行换算。
  2. 爱发科皮拉尼真空计,因为利用了使灯丝保持一定温度的电力变化量,即使压力相同,根据周围的温度,指示值也会受到影响。
  3. 由于测量子电缆也是电路的一部分,如果电缆的长度发生变化,电路的电阻值也会发生变化。指示值也会发生变化。(但是,传感器侧带有检测单元电路的不限于此。)
  4. 灯丝因为是细的金属线,给予振动,冲击的话,会有断线的危险。

故障确认表

1. 即使打开电源,测量仪器的指针也不会完全偏离
2. 即使直到指针向右(或向左)偏移为止,改变压力,也不会动作
3. 即使测量大气压,指针也不会超过3k Pa
4. 指针因振动不显示一定值

1.即使打开电源,测量仪器的指针也不会完全偏离

原因 处理方法
保险丝的断线。 保险丝的更换。

2.即使直到指针向右(或向左)偏移为止,改变压力,也不会动作

原因 处理方法
测定子的灯丝断线。 测定子的更换。
测定子电缆的断线。 测定子电缆的更换。
測定子,測定子电缆和 控制器没有连接。 测定子,测定子电缆的连接。

3.即使测量大气压,指针也不会超过3k Pa

原因 处理方法
测定子,测定子电缆的长度和指定的不同。 用指定的进行替换或者现在使用的进行再校正。
测定的气体的种类不是空气和氮气。 虽然正常,但需要用现在测定的气体进行再校正。
测定的环境处在,含有很多水分、油分的状态。 虽然正常,不过要更换测量子,除去油分。
测定子的污垢,或灯丝的消耗。 测定子的交换。

4.指针因振动不显示一定值

原因 处理方法
测定子的污垢,或灯丝的消耗。 测定子的交换。
测定子电缆的接触不良。 测定子电缆的更换。
电源电压不在100V±10%的范围内。 重新评估电源电压。
测定子或测定子被安装部分周边的泄露。 更换测定子,或修正其周边部分的泄露。

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