トラブルシューティング

クライオポンプをベストコンディションでお使いいただくために。
クライオポンプは信頼性が高く、長期間の連続運転が可能なように設計、製作されていますが、定期的なメンテナンスが必要です。
日常の点検のポイントをご確認いただくことにより、万が一トラブルを未然に防ぐことができます。


保守・点検のポイント 7

[ポンプアセンブリ]

1. クライオパネルの温度
(クライオパネルの温度をチェック。)
20K未満→正常
20K以上→異常
2. CA熱電対によるシールド温度
(CA熱電対の起電力をチェック。)
-5.5mV~-7.0mV→正常
-5.5mV以上→異常
(上記ともに室温20℃の時)
3. クライオポンプの音、振動
(聴覚、体感)
周期的、規則的→正常
不規則→異常

[コンプレッサーユニット]

4. 運転中のヘリウムガス(供給)圧力
(コンプレッサーユニットの圧力計[SUPPLY]を読んでチェック。)
機種によって異なりますので、「取り扱い説明書」の値で判断して下さい。
5. 積算(時間)計(E.T.M)
(コンプレッサーユニットの積算計で運転時間をチェック。)
機種によって異なりますので、「取り扱い説明書」によりアドソーバー(油吸着器)、冷凍機のシール、ベアリングなど交換してください。
6. コンプレッサーユニットの音、振動(聴覚、体感)
7. 冷却水の流量、入口温度(水冷の場合)
(冷却水の流量、入口温度をチェック。)
取扱説明書のグラフ参照

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