トラブルシューティング
クライオポンプ - 保守点検のポイント 7
クライオポンプをベストコンディションでお使いいただくために。
クライオポンプは信頼性が高く、長期間の連続運転が可能なように設計、製作されていますが、定期的なメンテナンスが必要です。
日常の点検のポイントをご確認いただくことにより、万が一トラブルを未然に防ぐことができます。
保守・点検のポイント 7
[ポンプアセンブリ]
1. | クライオパネルの温度 (クライオパネルの温度をチェック。) |
→ | 20K未満→正常 20K以上→異常 |
2. | CA熱電対によるシールド温度 (CA熱電対の起電力をチェック。) |
→ | -5.5mV~-7.0mV→正常 -5.5mV以上→異常 (上記ともに室温20℃の時) |
3. | クライオポンプの音、振動 (聴覚、体感) |
→ | 周期的、規則的→正常 不規則→異常 |
[コンプレッサーユニット]
4. | 運転中のヘリウムガス(供給)圧力 (コンプレッサーユニットの圧力計[SUPPLY]を読んでチェック。) |
→ | 機種によって異なりますので、「取り扱い説明書」の値で判断して下さい。 |
5. | 積算(時間)計(E.T.M) (コンプレッサーユニットの積算計で運転時間をチェック。) |
→ | 機種によって異なりますので、「取り扱い説明書」によりアドソーバー(油吸着器)、冷凍機のシール、ベアリングなど交換してください。 |
6. | コンプレッサーユニットの音、振動(聴覚、体感) | → | |
7. | 冷却水の流量、入口温度(水冷の場合) (冷却水の流量、入口温度をチェック。) |
→ | 取扱説明書のグラフ参照 |