トラブルシューティング

Step1.クリーンナップ&エージング

CleanUpを実施して「テスト状態」で暫く放置してみます。多量のHeを吸い込んだ後の影響であれば回復します。

Step2.治具シール部のチェック

テストポート、治具のフランジ面、Oリングに傷や異物付着がないかをチェックします。外部リークがあると、BGが下がりません。

Step3.イオンソース交換

フィラメント劣化、電極板の汚れなどが原因であれば、一体型イオンソース交換で感度回復できます。起動データ画面で感度の回復を確認できます。

Step4.OIL交換(油回転ポンプモデル)

OIL不足、白濁(水混入)などの状態は、バックグラウンド上昇の原因となります。

Step5.メーカーによる点検整備

排気系、分析管O/H、リーク等をtotalで点検整備を行います。

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HOW TO

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