Step1．クリーンナップ＆エージング
CleanUpを実施して「テスト状態」で暫く放置してみます。多量のHeを吸い込んだ後の影響であれば回復します。
Step2．治具シール部のチェック
テストポート、治具のフランジ面、Oリングに傷や異物付着がないかをチェックします。外部リークがあると、BGが下がりません。
Step3．イオンソース交換
フィラメント劣化、電極板の汚れなどが原因であれば、一体型イオンソース交換で感度回復できます。起動データ画面で感度の回復を確認できます。
Step4．OIL交換(油回転ポンプモデル)
OIL不足、白濁(水混入)などの状態は、バックグラウンド上昇の原因となります。
Step5．メーカーによる点検整備
排気系、分析管O/H、リーク等をtotalで点検整備を行います。
