トラブルシューティング
クライオポンプ
トラブルシューティング
クライオポンプは信頼性が高く、長期間の連続運転が可能なように設計、製作されています。 故障することもあり得るため簡単な故障については、故障診断と対策・応急処置については知っておくことが必要です。
クライオポンプの使用台数が多く、1台でも停止すると大きな影響がでる装置の場合は、安全のため予備機を持つことを推奨します。
クライオポンプの故障診断の詳細は各取扱説明書に載っていますが、ここではトラブル例と、その応急処置方法について簡単に説明いたします。
(注記)いずれのトラブルでも、対処ができない場合は、弊社または最寄りのサービスセンターに連絡して下さい。
■トラブル例[1] クライオポンプの引きが悪い。
■トラブル例[2] ヘリウム圧が低下する。
■トラブル例[3] クライオポンプの冷却時間が長い、又は冷却時間が長くなった。
■トラブル例[4] クライオポンプの異常音・異常振動。
