VACUUM 2023 真空展に出展いたします

展示会

2023年10月05日

アルバックは、昨年に引き続き「VACUUM 2023 真空展」リアル会場とオンライン会場に出展いたします。

今年発売しましたポンプ、計測機器、電源製品を始め、皆様にご愛顧いただいている真空関連製品が一堂にご覧いただける機会です。
また日本真空工業会の真空コンポーネント・部品・材料部門賞を受賞した成膜コントローラ製品も紹介いたします。

アルバックグループから、アルバック、アルバック機工、アルバック・クライオ、昭和真空が出展です。是非ご来場ください。

アルバック・グループ一同、皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。

■リアル会場　【アルバックブース小間番号: V-08】	■オンライン会場
会　期：2023年11月29日（水）〜12月1日（金）10:00〜17:00 会　場：東京ビッグサイト西ホール入場料：1,000円（入場登録者、招待状持参者、中学生以下は無料）	会　期：2023年11月22日（水）〜12月8日（金）会　場：オンライン上入場料：無料（登録制）

VACUUM 2023真空展の入場登録はこちら

VACUUM 2023 真空展リアル展示およびオンライン展示の入場には事前登録が必要です。※10月上旬入場登録開始予定
日刊工業新聞社の専用サイトへアクセスいただき、事前登録下さますようお願いいたします。

https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/

出展製品のご案内　☆リアル展にて実機展示品

真空ポンプ

大型真空ポンプ
スクリュー型ドライ真空ポンプ	LSシリーズ LS120A ☆
油回転真空ポンプ	VSシリーズ VS300A-W《新製品》☆
クライオスーパートラップ	CRYO-T8SFA-EA ☆
小型真空ポンプ
油回転真空ポンプ
小型ピストンポンプ　真空（参考出展）	DOP-30S-DC ☆
小型ピストンポンプ　加圧（参考出展）	DOP-30SP-DC ☆
気液ダイアフラムポンプ（参考出展）

真空計測機器

ヘリウムリークディテクタ
リークディデクタ	HELIOT901W1　☆
リークディデクタ	HELIOT904W2　☆
プロセスガスモニタ
ガス分析計	Qulee RGM2-201F《新製品》　☆
ガス分析計　スパッタリングプロセス	Qulee CGM2シリーズ Qulee CGM2-101　☆
真空計
ピラニ真空計	SW100 　☆
マルチイオンゲージ（長寿命仕様）	G-TRAN ST200シリーズ　☆
マルチイオンゲージ（超高真空仕様）	G-TRAN SH200シリーズ　☆
スマホ対応ピラニ真空計	G-TRAN SWU10-U　☆
膜厚評価装置
触針式プロファイラ	Alpha step Dシリーズ Alpha step D-600　☆
分光エリプソメータ	UNECS Portable　☆
水晶発振式成膜コントローラ
水晶発振式成膜コントローラ	CRTM-R1　 ☆
水晶板	CRTS-12NS　☆
水晶発振式成膜コントローラマルチセンサ	CRTSシリーズ

電源

DC電源
DC電源	DC-20-D ☆
大容量DC電源	DC-20　☆
小容量DC電源	DC-2　☆
DC PULSE電源	DC-5-P　☆
異常放電防止ユニット	A2K-40K　☆
RF電源
プラズマプロセス用RF電源	RFS-Nシリーズ RFS-1305N　☆ RFS-1350N　☆
RF電源操作パネル	RFP-N ☆
RF電源フェーズシフター	PHSシリーズ PHS-04N　☆
マッチングボックス切換機	MEX-Nシリーズ MEX-2N　☆
300W 一体型RFシステム	RMGシリーズ RMG-1303　☆
EB電源・EBガン
EB電源	HPS-Nシリーズ HPS-1000N　☆
金属蒸着用EBガン	EGN-406M　☆

応用製品

AuSu蒸着装置	SEC-S900C　☆
真空蒸着装置	SEC-08C、16C ☆
ウエハトリミング装置	SST-M01T ☆