多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

LRシリーズ

LR

アルバック

ポンプ本体を低温領域で均熱化することで、PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取出し室の排気に最適なポンプとなっています。

特長

  • 低温領域で均熱化(LRシリーズ)
    PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適です。
  • ヘリウムタイト
    キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全です。
  • 瞬停対策
    1000msec以内の瞬停対策を施しています。
  • 優れた耐食性
    主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減します。
  • 通信機能
    ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング/アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能です。

用途

  • 成膜装置(スパッタリング装置/蒸着装置など)
  • 仕込み取り出し室の排気時間短縮
  • 補助排気ポンプとして(ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気)

仕様

型式 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
最大排気速度 50Hz m3/h
(L/min)
62 (1030) 112 (1860) 183 (3100) 440 (7333)
60Hz m3/h
(L/min)
80 (1333) 126 (2100) 237 (3950) 440 (7333)
到達圧力 5.0 Pa
最大吸気口圧力 (吸入圧力)  大気圧
最大排気口圧力 (排出圧力) 1Pa ~ 大気圧
吸気口 (CE仕様) VG50(KF50) VG80(KF50) VG100
排気口 KF40 VG50
質量 kg 180 245 335 415
電力 *1 三相 VAC (Hz) 200 (50/60) , 220 (60) 180~240 / 380~440 (50/60)
電流値 定常時 A 6.9 (200V時) 11.2 (200V時) 18.9 (200V時) 20.8 (200V時)
最大値 A 7.3 (200V時) 11.8 (200V時) 20.6 (200V時) 48.5 (200V時)
冷却水一時圧力 MPa 0.1~0.3 0.2~0.5
冷却水出入口差圧 MPa >0.1 >0.2
冷却水流量 L / min >5.0 >4.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1~0.5
二次圧力 MPa 0.05~0.1
N2パージ SLM 5
ガスバラ SLM 0~45 無し 0~45

*1 ご注文時にご指定ください。

型式 LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601 LR3601-T(TT) LR3601-R LR3601-TR(TTR)
使用ポンプ DRP LR60 LR90 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T
MPB PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A PRC-036C PRC-036C(-T) PRC-036D PRC-036D(D-T)
最大排気速度  50Hz m3/h
(L/min)
359
(5,980)
653
(10,900)
1,012
(16,900)
1,701
(28,350)
3,200 (53,333)
60Hz m3/h
(L/min)
365
(6,080)
701
(11,700)
1,051M
(17,500)
1,784
(29,700)
3,200 (53,333)
到達圧力 0.67 Pa
最大吸気口圧力 (吸入圧力)  大気圧
最大排気口圧力 (排出圧力) 1Pa ~ 大気圧
吸気口 (CE仕様) VG80 (KF80) VG100
(KF100)
VG150
(KF100)
VG150
排気口 KF40 KF50
MBP表面処理 〇 *2 〇 *2 〇 *2 〇 *2 × T:×
TT:×
× TR:×
TTR:〇
質量 kg 275 370 420 545 660 720 660 720
電力 *3 三相 VAC (Hz) 200 (50/60), 220 (60) 180~240 / 380~440 (50/60)
電流値 定常時 A 7.0
(200V時)
12.3
(200V時)
13.7
(200V時)
21.4
(200V時)
31.0 (200V時)
20.5 (400V時)
35.4 (200V時)
20.5 (400V時)
最大値 A 9.6
(200V時)
19.0
(200V時)
24.2
(200V時)
39.8
(200V時)
58.4 (200V時)
40.5 (400V時)
82.0 (200V時)
40.5 (400V時)
冷却水一時圧力 MPa 0.1~0.3 0.2~0.5
冷却水出入口差圧 MPa >0.1 0.1~0.3 0.2~0.5
冷却水流量 L / min >5.0 >4.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1~0.5
二次圧力 MPa 0.05~0.1
N2パージ SLM 5
ガスバラ SLM 0~45 無し *4 0~45 無し *4 0~45

*2 LR300, LR600, LR1200, LR1800のMBPは表面処理の有無を選択可能です。
*3 ご注文時にご指定ください。
*4 用途によりガスバラが使用できる仕様も見積可能です。

アクセサリ

■サイレンサー

型式 材質 表面
処理
質量 接続フランジ LR
300
LR
600
LR
1200
LR
1800
L&
3601
LR
60
LR
90
LR
180
LR
421
LR
421-T
RS-01 +
キットA
SUS
304
GBB
処理
4.1
kg
KF40 - - - - - - -
RS-01 +
キットB
KF40 - - - - - - - -
RS-02 +
キットA
8.3
kg
KF40 - - - - - - - -
RS-02 +
キットB
KF40 - - - - - - -
RS-03 +
キットA
磨き板 12.5
kg
KF50 - - - - - - - -
RS-03 +
キットB
- - - - - - - - -

排気速度曲線

  • LR60
LR60_curve.png
  • LR90
LR90_curve.png
  • LR180
LR180_curve.png
  • LR421-T
LR421_curve.png
  • LR300 / LR600
LR300_600_curve.png
  • LR1200
LR1200_curve.png
  • LR1800
LR1800_curve.png
  • LR3601(-R / -TR / -TTR)
LR3601R_TR_TTR_curve.png
  • LR3601(-T / -TT)
LR3601T_TT_curve.png

    寸法図

    • LR60
    LR60_size_j.png
    • LR90
    LR90_size_j.png
    • LR180
    LR180_size_j.png
    • LR300
    LR300_size_j.png
    • LR421
    LR421_size_j.png
    • LR421-T
    LR421-T_size_j.png
    • LR600
    LR600_size_j.png
    • LR1200
    LR1200_size_j.png
    • LR1800
    LR1800_size_j.png
    • LR3601
    LR3601_size_j.png
    • LR3601-R
    LR3601-R_size_j.png
    • LR3601-T
    LR3601-T_size_j.png
    • LR3601-TR
    LR3601-TR_size_j.png
    • LR3601-TT
    LR3601-TT_size_j.png

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