LR｜LRシリーズ｜多段ルーツ型ドライ真空ポンプ｜真空ポンプ（低・中真空）｜製品情報｜ULVAC SHOWCASE

多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

LRシリーズ

LR

アルバック

ポンプ本体を低温領域で均熱化することで、ＰＶＤプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取出し室の排気に最適なポンプとなっています。

特長

  • 低温領域で均熱化(LRシリーズ)
    PVDプロセスに加え、特にスループットを上げるために排気時間短縮が重要な仕込み取り出し室の排気に最適です。
  • ヘリウムタイト
    キャンドモータ搭載により密閉構造のため極めて安全です。
  • 瞬停対策
    1000msec以内の瞬停対策を施しています。
  • 優れた耐食性
    主要部品には、表面硬度が高く耐食性に優れた特殊表面処理を標準採用。腐食性ガス排気時のポンプ内部の腐食を低減します。
  • 通信機能
    ポンプ運転状態に関するデータ、ワーニング／アラーム履歴を読み出すことが可能。専用ソフトを使用し、コンピュータ通信を行えば集中監視が可能です。

用途

  • 成膜装置（スパッタリング装置／蒸着装置など）
  • 仕込み取り出し室の排気時間短縮
  • 補助排気ポンプとして（ターボ分子ポンプ、メカニカルブースタポンプの補助排気)

仕様

型式 LR60 LR90 LR180 LR421 LR421-T
最大排気速度 50Hz m3/h
(L/min)		 62 (1030) 112 (1860) 183 (3100) 440 (7333)
60Hz m3/h
(L/min)		 80 (1333) 126 (2100) 237 (3950) 440 (7333)
到達圧力 5.0 Pa
最大吸気口圧力 (吸入圧力)　 大気圧
最大排気口圧力 (排出圧力) 1Pa ~ 大気圧
吸気口 (CE仕様) VG50(KF50) VG80(KF50) VG100
排気口 KF40 VG50
質量 kg 180 245 335 415
電力 *1 三相 VAC (Hz) 200 (50/60) , 220 (60) 180~240 / 380~440 (50/60)
電流値 定常時 A 6.9 (200V時) 11.2 (200V時) 18.9 (200V時) 20.8 (200V時)
最大値 A 7.3 (200V時) 11.8 (200V時) 20.6 (200V時) 48.5 (200V時)
冷却水一時圧力 MPa 0.1~0.3 0.2~0.5
冷却水出入口差圧 MPa >0.1 >0.2
冷却水流量 L / min >5.0 >4.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1~0.5
二次圧力 MPa 0.05~0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0~45 無し 0~45

*1 ご注文時にご指定ください。

型式 LR300 LR600 LR1200 LR1800 LR3601 LR3601-T(TT) LR3601-R LR3601-TR(TTR)
使用ポンプ DRP LR60 LR90 LR90 LR180 LR421 LR421-T LR421 LR421-T
MPB PRC-003A PRC-006A PRC-012A PRC-018A PRC-036C PRC-036C(-T) PRC-036D PRC-036D(D-T)
最大排気速度　 50Hz m3/h
(L/min)		 359
(5,980)		 653
(10,900)		 1,012
(16,900)		 1,701
(28,350)		 3,200 (53,333)
60Hz m3/h
(L/min)		 365
(6,080)		 701
(11,700)		 1,051M
(17,500)		 1,784
(29,700)		 3,200 (53,333)
到達圧力 0.67 Pa
最大吸気口圧力 (吸入圧力)　 大気圧
最大排気口圧力 (排出圧力) 1Pa ~ 大気圧
吸気口 (CE仕様) VG80 (KF80) VG100
(KF100)		 VG150
(KF100)		 VG150
排気口 KF40 KF50
MBP表面処理 〇 *2 〇 *2 〇 *2 〇 *2 × T:×
TT:×		 × TR:×
TTR:〇
質量 kg 275 370 420 545 660 720 660 720
電力 *3 三相 VAC (Hz) 200 (50/60), 220 (60) 180~240 / 380~440 (50/60)
電流値 定常時 A 7.0
(200V時)		 12.3
(200V時)		 13.7
(200V時)		 21.4
(200V時)		 31.0 (200V時)
20.5 (400V時)		 35.4 (200V時)
20.5 (400V時)
最大値 A 9.6
(200V時)		 19.0
(200V時)		 24.2
(200V時)		 39.8
(200V時)		 58.4 (200V時)
40.5 (400V時)		 82.0 (200V時)
40.5 (400V時)
冷却水一時圧力 MPa 0.1~0.3 0.2~0.5
冷却水出入口差圧 MPa >0.1 0.1~0.3 0.2~0.5
冷却水流量 L / min >5.0 >4.0
パージガス 一次圧力 MPa 0.1~0.5
二次圧力 MPa 0.05~0.1
N2パージ 軸 SLM 5
ガスバラ SLM 0~45 無し *4 0~45 無し *4 0~45

*2 LR300, LR600, LR1200, LR1800のMBPは表面処理の有無を選択可能です。
*3 ご注文時にご指定ください。
*4 用途によりガスバラが使用できる仕様も見積可能です。

アクセサリ

■サイレンサー

型式 材質 表面
処理		 質量 接続フランジ LR
300		 LR
600		 LR
1200		 LR
1800		 LR
3601		 LR
60		 LR
90		 LR
180		 LR
421		 LR
421-T
RS-01 +
キットA		 SUS
304		 GBB
処理		 4.1
kg		 KF40 〇 - - - - 〇 〇 - - -
RS-01 +
キットB		 KF40 - 〇 〇 - - - - - - -
RS-02 +
キットA		 8.3
kg		 KF40 〇 - - - - - - 〇 - -
RS-02 +
キットB		 KF40 - 〇 〇 〇 - - - - - -
RS-03 +
キットA		 磨き板 12.5
kg		 KF50 - - - - - - - - 〇 〇
RS-03 +
キットB		 - - - - 〇 - - - - -

排気速度曲線

  • LR60
LR60_curve.png
  • LR90
LR90_curve.png
  • LR180
LR180_curve.png
  • LR421-T
LR421_curve.png
  • LR300 / LR600
LR300_600_curve.png
  • LR1200
LR1200_curve.png
  • LR1800
LR1800_curve.png
  • LR3601(-R / -TR / -TTR)
LR3601R_TR_TTR_curve.png
  • LR3601(-T / -TT)
LR3601T_TT_curve.png

    寸法図

    • LR60
    LR60_size_j.png
    • LR90
    LR90_size_j.png
    • LR180
    LR180_size_j.png
    • LR300
    LR300_size_j.png
    • LR421
    LR421_size_j.png
    • LR421-T
    LR421-T_size_j.png
    • LR600
    LR600_size_j.png
    • LR1200
    LR1200_size_j.png
    • LR1800
    LR1800_size_j.png
    • LR3601
    LR3601_size_j.png
    • LR3601-R
    LR3601-R_size_j.png
    • LR3601-T
    LR3601-T_size_j.png
    • LR3601-TR
    LR3601-TR_size_j.png
    • LR3601-TT
    LR3601-TT_size_j.png

    ポンプが回転しません。

    アルバックテクノにて引取り修理となります。
    以下のような原因が考えられます。
    ・モータ不良
    ・電源の断線
    ・電源スイッチの不良
    ・電圧降下
    ・コードの断線
    ・ロータのロック
    ・ブレーカの作動（お客様ご自身で復旧出来る可能性も有ります。作動原因の調査をお願い致します。）

    能力が低下しています。

    以下の原因が考えられます。
    原因が①の場合、アルバックテクノにて引取り修理となります。
    原因が②の場合、アルバックテクノにて引取り修理、またはお客様ご自身で対応いただくことも可能です。
    ①
    ・ベアリングの破損
    ・カップリングの不良
    ・ベーンの摩耗
    ・シリンダの摩耗
    ・電源電圧
    ・ロータのロック
    ・モータギャップの接触
    ・ブレーカの不良
    ②
    ・異物の詰まり
    ・吸排気口の詰まり
    　→除去、清掃をお願い致します。
    ・吸気管の漏れ
    　→Oリングの取り換え、配管の補修をお願い致します。
    ・個体の吸入
    　→吸入原因の除去をお願い致します。

    真空ポンプは屋外で使用できますか？

    屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
    対応出来る可能性もございますので屋外での使用をご検討の場合にはお問い合わせをお願い致します。

    真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか？

    排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
    （S=Q/P)

    真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

    詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。


    https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

    ドライ真空ポンプのシールガスやガスバラストガスについて、N2ではなくクリーンドライエアー（CDA）に代えても問題ありませんか？

    CDAを使用する場合、下記の点にご注意ください。
    ①CDAの露点は－60℃以下
    ②CDAと吸気したガスの反応による製品不具合を起こした場合は保証対象外となります。
    ③特に水素(H2)の様な爆発性のガス種や引火性ガスの場合は爆発,燃焼する可能性があります。

    ドライ真空ポンプの運転音を小さくする事は出来ますか？

    オプションで「サイレンサ」を用意している機種もございます。真空ポンプの排気速度に合わせてご選定ください。

    ルーツ型ドライ真空ポンプで防爆モータ仕様はありますか？

    GRシリーズで対応可能（オプション対応）です。
    使用する国/地域によっては、高効率規制等の関係で対応出来ない場合もありますので、詳細仕様についてはお問い合わせください。

    使用中のドライ真空ポンプに、省電力アタッチメント ECO-SHOCK は取り付けられますか？

    ルーツ型ドライ真空ポンプ LRシリーズは、標準の逆流防止弁をECO-SHOCKに付属される逆流防止弁ユニット（取り合い寸法同じ）と交換頂くだけで使用可能となります。その他型式についてはお問い合わせください。

    中大型のドライ真空ポンプの排気側設備検討にあたり、最大排気量を教えてください。

    大気圧(1013hPa）の排気速度が最大排気量となります。詳細は製品ページの排気速度曲線などでご確認をお願いいたします。

    新旧型式相対表　真空ポンプ

    真空ポンプ　旧型式と現行機種相対表

    アルバック社製ポンプの相対表となります。既設ポンプと販売現行機種との相違点をご確認ください。
    製品詳細仕様は、製品情報ページをご覧ください。

    旧製品型式現行機種
    D-240DKVD151
    D-330DKVD201
    D-650DKVD30C
    D-950DKVD40C
    EC403VD40C
    EC603VD60C
    EC803VD90C

    ベルト掛け駆動型のD-330K,D-650K,D-950Kは、排気速度が若干異なります。ご使用の排気条件毎に選定しますのでご相談ください。

    D240DK⇒VD151

    型式D-240DKVD151
    設計排気速度
    m3/h（L/min）    		50HZ14（240）14.4（240）
    60Hz17（290）17.3(288)
    到達圧力　Pa6.7×10-16.7×10-1
    使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
    冷却方式空冷空冷
    吸気口径KF25KF25
    排気口径G1（ PF1）G1
    外観寸法 mm　ＬｘWｘＨ497ｘ231ｘ251514ｘ170ｘ240

    VDシリーズの詳細仕様はこちら

    D－DKシリーズ⇒VDシリーズ



    型式D-330DKD-650DKD-950DKyajirushi04.gifVD201VD30CVD40C
    設計排気速度
    m3/h（L/min）    		50Hz15（253）30（507）46（760）20.2(336)30(500)40(670)
    60Hz19（309）37（618）56（928）24.2(403)36(600)48(800)
    到達圧力　Pa6.7×10-16.7×10-1
    使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
    冷却方式空冷空冷
    吸気口径1Bホース口VG40相当VG50相当KF25VG40相当VG40相当
    排気口径G1 1/2（PF1 1/2）G2
    （PF2）    		G1VG40相当VG40相当
    　　　　　　Ｌ695695766536660660
    外観寸法　　Ｗ266268282181210210
    　　mm 　　Ｈ371357357269324324

    VDシリーズの詳細仕様はこちら

    ECシリーズ⇒VDシリーズ

    型式EC403EC603EC803yajirushi04.gifVD40CVD60CVD90C
    設計排気速度
    m3/h
    （L/min）    		50HZ40(670)60(1000)80(1340)40(670)60(1000)90(1500)
    60Hz48(800)72(1200)96(1600)48(800)72(1200)106(1800)
    到達圧力　Pa6.7×10-16.7×10-1
    使用油ULVOIL R-7000ULVOIL R-7
    冷却方式空冷空冷
    吸気口径VG50相当VG40相当VG50相当
    排気口径VG40相当VG40相当
    　　　　　Ｌ657721775680761831
    外観寸法　Ｗ270285296210280280
    mm　Ｈ370370370324371371

    VDシリーズの詳細仕様はこちら
    ※上記に廃版型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

    真空ポンプ　セレクションガイド

    真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

    圧力単位（Pa）

    pump_bg.jpg

    ドライ真空ポンプ

    lr-hr-ur-series.jpg

    ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

    アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
    使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
    どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
    また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

    油回転真空ポンプ（大型）

    vd-series.jpg

    油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

    アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
    使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

    油回転真空ポンプ（小型）

    GLS-051.jpg
    小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
    どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

    メカニカルブースタポンプ

    pmb-d.jpg
    メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
    アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

    アルバックのメカニカルブースターポンプの詳細はこちらから

    ターボ分子ポンプ

    utm-series.jpg

    ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

    アルバックのターボ分子ポンプの詳細はこちらから

    スパッタイオンポンプ

    pst-400cx2400ax2.jpg
    スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
    イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

    ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子（アクター素子） の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

    アルバックのスパッタイオンポンプの詳細はこちらから

    オイルセレクションガイド

    oil_r-spr_series.jpg
    油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
    詳しくはこちら
    ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは？

    ドライ真空ポンプの形状で、モータを動力としてポンプ室を2つ組み合わせたもので説明します。

    1段式：
    2つのポンプ室を並列につないで排気量を増やしているものが1段式です。
    ポンプ室が1つであるものは当然1段式となります。

    2段式：
    ポンプ室を直列に2組つないで圧縮比を大きくとったものが2段式です。,.
    現在では、3段式や4段式のものもあります。

    1段式と2段式の比較

    到達圧力排気速度
    1段式高い大きい
    2段式低い小さい

    1段式と2段式のポンプ室の組合わせ

    faq_01_09f.gif

    真空ポンプにはどのような種類がありますか？

    一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

    真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

    この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

    これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

    つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

    これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

    真空ポンプの種類

    kiko_1_1hyou.gif

    該非判定結果報告書
    ダウンロード

    該非判定結果　ドライ真空ポンプ

    SDSダウンロード

    オプションパーツ・消耗品

    LRシリーズ　オプション
    サイレンサー　RSシリーズ（RS-01/RS-02/RS-03) 省電力アタッチメント　ECO-SHOCKシリーズ（ES10/ES4A)

    取扱説明書・仕様書
    ダウンロード

    アプリケーション
    ダウンロード

    図面ダウンロード

    技術資料ダウンロード

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