多段ルーツ型ドライ真空ポンプ

ドライポンプとは？

電子、半導体産業のニーズに応えるポンプ

ドライポンプとは、油や液体を真空室内に使用しない機械式の真空ポンプです。

FPD・電子・半導体産業などの分野では、よりクリーンな真空が必要になり、歩留まり改善、メンテナンス性の改善のための真空ポンプが必要となってきています。
その中の代表的なポンプに、ルーツ型ドライ真空ポンプがあります。

多段構造のルーツ型ドライ真空ポンプの特徴

ルーツ型ドライ真空ポンプとは、多段のメカニカル・ブースターポンプを一体化したドライ真空ポンプです。
三つ葉のロータを用いたルーツ型ドライ真空ポンプでは、一軸に多段のロータを接続することで、大気圧まで圧縮・排気が可能なポンプです。

FPD製造装置・半導体製造装置・真空蒸留・精製脱ガス・殺菌・乾燥 脱水・消毒など製造装置に使われています！

高速回転するロータよって気体を輸送するルーツ型ドライ真空ポンプの仕組み

このポンプは、ケーシングと呼ばれる箱の中に三つ葉のロータ(回転体)が２つ入っており、一対のギアによって互いに反対方向に同じ周期で回転しています。ロータ同士、またロータとケーシングは接触することがなく、わずかな隙間を保ちながら回転して気体を移送圧縮します。ロータを多段構造にし、大気圧まで圧縮し、大気中に排気します。ロータ・ケーシング内には油等の封液は使用しておらずクリーンな排気が可能です。ギヤやベアリングには潤滑のために油を使用しておりますが、シール構造を工夫し油がケーシング内に入らないようになっています。