真空ポンプ(高真空)の基礎知識

スパッタイオンポンプとは?

真空放電と化学作用を利用した超・極高真空ポンプ

超・極高真空の発生に利用される代表的なポンプの一つです。陽極と陰極で構成されたセル(ポンプセル)に電場を印加する簡単な動作原理のため、駆動部がなく音や振動の発生がありません。また、溜め込み式のポンプで、定常運転時、補助ポンプ無しの単独で排気を行います。 広く分析機器や加速器などに使用されています。

pump_large (9).jpg

スパッタイオンポンプの技術が使われています!
加速器、超・極高真空排気装置、分析機器、電子線照射装置 など

スパッタイオンポンプの特徴

イオンポンプのメリット

ポンプの構造上、機械的な可動部分が無いため、騒音や振動が起こることがありません。そのため、広く分析機器、加速器などの分野に利用されています。

長所  超・極高真空が得られる 、機械的振動や騒音がない、完全オイルフリー、取り付け方法を選ばないなど

短所  大流量のガスの排気が困難、動作範囲が高真空からとなるため、粗引きがき必要

スパッタイオンポンプの仕組み

チタンのゲッタ膜で気体を捕まえる

pump_illust01 (9).gif

ポンプケース、磁石ヨーク、陽極と陰極で構成された セル(ポンプセル)、そこに電場を印加する簡単な構造

pump_illust02 (1).gif

1)一次電子の生成
2)一次電子の螺旋軌道
3)一次電子とガス分子の衝突による二次電子と
  イオンのの生成
4)イオンが陰極に衝突し、チタン原子をたたきだす
5)チタン原子が活性ガス分子を吸着し、イオンは
  陰極内に捕らえられる

HOW TO

このサイトでは、お客様の利便性や利用状況の把握などのためにCookieなどを使用してアクセスデータを取得・利用しています。これ以降ページを遷移した場合、Cookieなどの設定や使用に同意したことになります。ウェブサイトでの個人情報の取り扱いご利用規約をご覧ください。

[ 閉じる ]