真空ポンプの原理と特徴＜種類別＞
スパッタイオンポンプ
真空放電と化学作用を利用した超・極高真空ポンプ
スパッタイオンポンプとは、超・極高真空の発生に利用される代表的なポンプの一つです。陽極と陰極で構成されたセル（ポンプセル）に電場を印加する簡単な動作原理のため、駆動部がなく音や振動の発生がありません。また、溜め込み式のポンプで、定常運転時、補助ポンプ無しの単独で排気を行います。 広く分析機器や加速器などに使用されています。
加速器、超・極高真空排気装置、分析機器、電子線照射装置 などに広く用いられています。
スパッタイオンポンプの特徴
ポンプの構造上、機械的な可動部分が無いため、騒音や振動が起こることがありません。そのため、広く分析機器、加速器などの分野に利用されています。
| 長所 | 超・極高真空が得られる 、機械的振動や騒音がない、完全オイルフリー、取り付け方法を選ばないなど |
| 短所 | 大流量のガスの排気が困難、動作範囲が高真空からとなるため、粗引きがき必要 |
チタンのゲッタ膜で気体を捕まえるスパッタイオンポンプのしくみ
スパッタイオンポンプは、ポンプケース、磁石ヨーク、陽極と陰極で構成された セル（ポンプセル）、そこに電場を印加する簡単な構造です。
１）一次電子の生成●
２）一次電子の螺旋軌道
３）一次電子とガス分子●の衝突による二次電子とイオンの●の生成
４）イオンが陰極に衝突し、チタン原子●をたたきだす
５）チタン原子が活性ガス分子を吸着し、イオンは陰極内に捕らえられます
