真空ポンプ(高真空)の基礎知識

チタンゲッターポンプの仕組み

チタンによって超高真空を生成

このポンプは、チタンを用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。冷却によって真空を得るソープションポンプとは異なり、チタンを加熱、昇華させることによって壁面等に、大量の活性表面を作り、 スパッタイオンポンプやターボ分子ポンプと組合わせて使用します。

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チタンゲッターポンプの技術が使われています!
加速器、分析機器などに使われていて、スパッタイオンポンプ、クライオポンプ、ターボ分子ポンプ等の真空ポンプと併用して排気時間短縮、到達圧力向上、排気量増加を目的に使われる

チタンゲッターポンプの特徴

ゲッター作用が真空を生成

このポンプは、チタンのゲッター作用を用いて排気を行い超高真空を生成することのできる真空ポンプです。ゲッター作用とは、気体分子を吸着することで排気を行う作用のことをいいます。ゲッターの材料には活性なチタンが利用されており、水素・酸素・窒素・一酸化炭素、活性ガスなどを化学的に吸着することで、気体の真空度を高めています。

長所  オイルフリー、優れたメンテナンス性、イオンポンプと併用で極高真空が得られる(イオンポンプと併用)

短所  不活性ガスは排気できない

チタンゲッターポンプの仕組み

蒸発したチタンが分子を吸着

このポンプは、チタン蒸発用フィラメントを加熱し真空中に昇華させることによって、ポンプ内の壁面に気体となったチタンの蒸着膜を作ります。 そしてチタンのゲッター作用を利用することによって、気体の吸着を行い排気作用が働きます。吸着面がガス分子でいっぱいになっても、その表面にチタンの蒸着膜を重ねて作ることで吸着面を確保することができます。

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HOW TO

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