真空泵(高真空)的基础知识

钛升华泵的结构

钛产生的超高真空

该泵是一种利用钛来排气从而产生超高真空的真空泵。
与通过冷却获得真空的吸附泵不同,通过加热和升华钛在壁面上产生大量活性表面,与溅射离子泵或涡轮分子泵组合使用。

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使用钛升华泵的技术!
用于加速器,分析仪器等,与溅射离子泵,低温泵,涡轮分子泵等真空泵配合使用,缩短排气时间,提高极限压力,增加排气量。

钛升华泵的特点

吸气作用产生真空

该泵是利用钛的吸气作用进行排气,可以产生超高真空的真空泵。
吸气作用是指通过吸附气体分子来进行排气。
吸气的材料使用的是活性钛,通过化学吸附来吸附氢气、氧气、氮气、一氧化碳和活性气体等,提高气体的真空度。

优点 无油,优异的可维护性,与离子泵并用可获得极高真空

缺点 惰性气体不能排气

钛升华泵的结构

蒸发的钛吸附分子

该泵通过加热钛蒸发用的灯丝使其在真空中升华,在泵内的壁面形气体钛的蒸镀膜。
然后通过利用钛的吸气作用,进行气体的吸附,发挥排气作用。
即使吸附面被气体分子填满,通过在其表面重叠钛的蒸镀膜来确保吸附面。

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HOW TO

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