真空泵(高真空)的基础知识

什么是油扩散泵?

用油蒸气喷射吹掉气体分子

从喷嘴喷射的高速,高密度油蒸汽射流向排气口提供动量,由于扩散现象导致从进气口进入的气体分子,并且射流阻止气体分子回流到进气口。

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油扩散泵的特点

结构简单,高排气性能的泵

油扩散泵是通过加热油以产生蒸汽的锅炉,由沿固定方向喷射蒸汽的伞型结构喷嘴(喷射器),以及冷凝蒸汽的低温侧构成。尽管结构简单,但它的高排气速度也是众所周知的。不能单独使用,必须始终与前级泵油回转泵结合使用。

优点 结构简单,排气速度高

缺点 油蒸气会从喷嘴回流到真空侧

油扩散泵的结构

通过超音速喷出的蒸气排气

本体底部的油被加热器加热成为蒸汽。当蒸汽以超音速从喷射器喷射时,气体从上段的喷嘴被压入下段的喷嘴,从而到达排气口。被喷射的油蒸气在主体的内壁上冷却,冷凝后作为原始油返回加热部分。

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