油扩散泵

什么是油扩散泵？

用油蒸气喷射吹掉气体分子

从喷嘴喷射的高速，高密度油蒸汽射流向排气口提供动量，由于扩散现象导致从进气口进入的气体分子，并且射流阻止气体分子回流到进气口。

使用油扩散泵技术！
FPD制造设备，半导体制造设备，真空蒸馏，净化脱气，杀菌，干燥，脱水，消毒等

油扩散泵的特点

结构简单，高排气性能的泵

油扩散泵是通过加热油以产生蒸汽的锅炉，由沿固定方向喷射蒸汽的伞型结构喷嘴（喷射器），以及冷凝蒸汽的低温侧构成。尽管结构简单，但它的高排气速度也是众所周知的。不能单独使用，必须始终与前级泵油回转泵结合使用。

优点　结构简单，排气速度高

缺点　油蒸气会从喷嘴回流到真空侧

油扩散泵的结构

通过超音速喷出的蒸气排气

本体底部的油被加热器加热成为蒸汽。当蒸汽以超音速从喷射器喷射时，气体从上段的喷嘴被压入下段的喷嘴，从而到达排气口。被喷射的油蒸气在主体的内壁上冷却，冷凝后作为原始油返回加热部分。