真空泵(高真空)的基础知识

什么是膜片型干泵?

半导体和电子行业的需求不断增长

隔膜真空泵是一种利用隔膜的往复运动进行排气的真空泵。

随着近来半导体制造业和电子设备工业的快速发展,对隔膜真空泵的需求也在增加。

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使用了膜片型干泵的技术!

真空排气,真空浓缩,过滤,脱气脱气,真空吸盘,薄膜吸附,包装机械,光学机械,真空镊子,医疗机械,印刷机械等

膜片型干泵的特征

不适用油和液体的清洁真空

膜片型干泵是不使用油或液体的机械真空泵,非常适用于需要清洁环境且不受油蒸气污染的应用。

优点  由于不使用油,可以清洁排气

缺点  无法获得高真空

膜片型干泵的结构

清洁构造的气体输送

当偏心轴(转子)旋转时,动力通过连杆传递到隔膜。

当隔膜反复上下运动时,气体从进气口输送到排气口,实现清洁排气。另外,每个口都装有阀门,可以一直向同一方向输送空气。

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FAQ 真空技术咨询(常见问题)

这里的问答摘自为纪念ULVAC KIKO 30周年而策划和编辑的「真空能做什么」 (由日刊工业新闻社出版)
※记载的顺序和表述方法已部分更改。

制造真空的Q&A

Q1.3 什么是膜片型干泵?

膜片型干泵是不使用油或液体的机械真空泵,非常适用于需要清洁环境且不受油蒸气污染的应用。随着近来半导体制造业和电子设备工业的快速发展,对隔膜真空泵的需求也在增加。

例如,IC的晶圆吸附装置、真空拉链、薄膜吸附、自动机械、包装机械、光学机械、真空镊子、医疗用机械、印刷机械等用途广泛。隔膜式真空泵的外观如图所示。通过安装在固定于偏心旋转轴上的隔膜(膜片)的移动来输送气体,隔膜的可移动量有限,因此较小容量的较多。

隔膜式真空泵的外观

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隔膜式真空泵的结构

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