真空泵(高真空)的基础知识

什么是涡轮分子泵?

有翼的真空泵

涡轮分子泵是由具有涡轮叶片的转子(动翼)和定子(静翼)组成的。近年来,性能得到改善并且被广泛使用。

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使用涡轮分子泵技术!
半导体制造设备,蒸发设备,溅射设备,分析设备,蚀刻设备,加速器,FPD制造设备等

涡轮分子泵的特点

可以实现在大气中不能实现的高速旋转

涡轮分子泵由高速旋转的动翼和保持静止的静翼组成。
动翼以每秒数万次的速度旋转,由于动翼上的负荷(阻力),在大气中会破裂。
因此,涡轮分子泵需要在一定程度的真空中使用,需要干泵或罗茨泵等前级泵。

优点 在分子流领域中,排气速度是恒定的并且可以连续排气。此外,不需要再生工作等维护,并且可以进行易燃和腐蚀性气体的排气。

缺点 高速旋转需要注意安全

涡轮分子泵的结构

高速旋转翼吹走了分子

涡轮分子泵具有交替的动翼和静翼。 进入进气口的气体分子由高速旋转的动翼提供动量,并被送到下段。 通过多个压缩段,气体分子被压缩并被送到排气口。

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HOW TO

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