涡轮分子泵

什么是涡轮分子泵？

有翼的真空泵

涡轮分子泵是由具有涡轮叶片的转子（动翼）和定子（静翼）组成的。近年来，性能得到改善并且被广泛使用。

使用涡轮分子泵技术！
半导体制造设备，蒸发设备，溅射设备，分析设备，蚀刻设备，加速器，FPD制造设备等

涡轮分子泵的特点

可以实现在大气中不能实现的高速旋转

涡轮分子泵由高速旋转的动翼和保持静止的静翼组成。
动翼以每秒数万次的速度旋转，由于动翼上的负荷（阻力），在大气中会破裂。
因此，涡轮分子泵需要在一定程度的真空中使用，需要干泵或罗茨泵等前级泵。

优点　在分子流领域中，排气速度是恒定的并且可以连续排气。此外，不需要再生工作等维护，并且可以进行易燃和腐蚀性气体的排气。

缺点　高速旋转需要注意安全

涡轮分子泵的结构

高速旋转翼吹走了分子

涡轮分子泵具有交替的动翼和静翼。 进入进气口的气体分子由高速旋转的动翼提供动量，并被送到下段。 通过多个压缩段，气体分子被压缩并被送到排气口。