真空泵(高真空)的基础知识

什么是干泵?

满足电子和半导体行业需求的泵

干泵是一种在真空室中不使用油或液体的机械真空泵。

在FPD、电子、半导体产业等领域,为了改善产品的成品率、可维护性,需要使用干泵。其中有代表性的泵是罗茨型干泵。

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使用了罗茨型干泵的技术!

FPD制造装置、半导体制造装置、真空蒸馏、精制脱气、杀菌、干燥脱水、消毒等

罗茨型干泵的特征

多段结构的罗茨型干泵

罗茨型干泵是将多段机械增压泵为一体的干泵。罗茨型干泵使用三叶转子,通过单轴连接多段转子,能够压缩、排气至大气压。

有点  可获得清洁真空,从大气压到到达压力均可使用。

缺点  

罗茨型干泵的结构

通过高速旋转的转子输送气体

该泵的壳体中有两个三叶转子(旋转体),转子通过一对齿轮以相同的周期相反方向旋转。转子间,以及转子和壳体间不会接触,保持微小的间隙旋转,对气体进行压缩和输送。转子具有多段结构,压缩至大气压,并排放到大气中。转子,壳体中不使用油等密封液,因此可以进行清洁排气。油用于齿轮和轴承的润滑,但设计了密封结构以防止油进入壳体。

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HOW TO

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