涡旋型干泵|真空泵(高真空)的基础知识|技术知识|ULVAC SHOWCASE

真空泵(高真空)的基础知识

什么是涡旋型干泵?

涡旋型干泵的外观如图所示。
涡旋型干泵的外观

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涡旋型干泵是通涡旋定子和转子的运动来排气的干泵。

该图显示了涡旋型干泵的结构。

涡旋型干泵的结构

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两个具有相同形状的涡旋略微偏离中心,彼此接触相对方向运动,被捕获在新月形空间中的气体被压向中心并从中心的孔中排出。通常,压缩过程设计为2次以上,低振动和低噪音。

极限压力可以达到1Pa。在应用方面,它被广泛应用于真空干燥设备,物理化学分析设备,真空吸附转移设备,真空热处理炉等领域。

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