溅射离子泵

什么是溅射离子泵？

利用了真空放电和化学作用的超・极高真空泵

这是用于产生超・极高真空的典型泵之一。由于向由阳极和阴极组成的电池（泵电池）施加电场是简单操作原理，没有驱动并且不产生声音或振动。另外，这是一种储存型的泵，稳定运行期间，无需辅助泵即可单独排气。 广泛用于分析仪器和加速器。

使用了溅射离子泵的技术！
加速器、超・极高真空排气设备、分析设备、电子束照射设备等

溅射离子泵的特征

离子泵的优点

泵的结构上，没有机械动作部分，所以不会引起噪音和振动。因此，它广泛用于分析仪器和加速器等领域。

优点　　可获得超・极高真空，无机械振动和噪音，完全无油，可选择任何安装方式等

短所　　难以排出大流量的气体，由于运作范围在高真空，因此需要粗抽泵。

溅射离子泵的结构

用钛吸气剂膜捕捉气体。

泵壳，磁轭，由阳极和阴极组成的电池（泵电池），在此施加电场的简单结构

１）一次电子生成●
２）一次电子螺旋轨道
３）一次电子和气体分子●的撞击产生一次离子
４）离子撞击阴极，敲击出钛原子●
５）钛原子吸附活性气体分子，离子被捕获在阴极中