真空泵(高真空)的基础知识

什么是溅射离子泵?

利用了真空放电和化学作用的超・极高真空泵

这是用于产生超・极高真空的典型泵之一。由于向由阳极和阴极组成的电池(泵电池)施加电场是简单操作原理,没有驱动并且不产生声音或振动。另外,这是一种储存型的泵,稳定运行期间,无需辅助泵即可单独排气。 广泛用于分析仪器和加速器。

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使用了溅射离子泵的技术!
加速器、超・极高真空排气设备、分析设备、电子束照射设备等

溅射离子泵的特征

离子泵的优点

泵的结构上,没有机械动作部分,所以不会引起噪音和振动。因此,它广泛用于分析仪器和加速器等领域。

优点  可获得超・极高真空,无机械振动和噪音,完全无油,可选择任何安装方式等

短所  难以排出大流量的气体,由于运作范围在高真空,因此需要粗抽泵。

溅射离子泵的结构

用钛吸气剂膜捕捉气体。

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泵壳,磁轭,由阳极和阴极组成的电池(泵电池),在此施加电场的简单结构

Howto_Ionpump1(CN).png

1)一次电子生成
2)一次电子螺旋轨道
3)一次电子和气体分子的撞击产生一次离子
4)离子撞击阴极,敲击出钛原子
5)钛原子吸附活性气体分子,离子被捕获在阴极中

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