吸附泵|真空泵(高真空)的基础知识|技术知识|ULVAC SHOWCASE

真空泵(高真空)的基础知识

吸附泵的结构

无振动和噪音的超高真空泵

吸附泵是一种使用低温气体冷凝的泵,如低温泵。泵的名称是根据Sorption,吸附的意思来命名的。

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使用吸附泵技术!
加速器,电子显微镜,分析设备等

吸附泵的特点

可以生成干净真空的粗抽泵

该泵是一种通过大比表面积的多孔质吸附剂将液氦冷却,吸附气体分子从而排气的泵。使用活性炭和分子筛作为吸附剂,其仅为1克内的表面积约为500m3。另外,虽然是可以从大气开始粗抽的泵,但是可以产生干净的真空。

优点 从大气压开始排气,可获得无油真空

短所  氢气、氦气、氖气等惰性气体定量排气后需再生。

什么是吸附泵?

多孔质吸附剂吸附气体分子

从吸气口吸入到泵内的气体,流入名为分子筛的多孔质吸附剂所在的室内。分子筛被外侧的液氮冷却,吸附流入的气体分子。这样,泵内部的排气就达成了。

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HOW TO

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