真空泵(高真空)的基础知识

什么是罗茨泵?

与其他泵组合使用

罗茨泵具有显着提高排气速度的功能。

当与油回转真空泵或干泵等粗抽泵组合时,在粗抽泵排气速度下降的压力范围内,使用罗茨泵可以使排气速度显著上升。

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使用了罗茨泵的技术!

半导体工艺、真空蒸馏、真空包装、脱气、薄膜、真空冶金、低密度风洞实验、航天开发、真空含浸、真空干燥等

罗茨泵的特点

广泛应用于与其他泵组合使用

当与油回转泵或干泵组合使用时,罗茨泵通常用于显着提高排气速度和降低极限压力。

优点  10KPa~0.1Pa排气速度大幅提高

缺点  会有回流

罗茨泵的结构

2个罗茨转子挤压气体

壳体中的两个8字型转子装在轴端部的驱动齿轮上并向相反方向同步旋转。从进气口进入的气体被限制在壳体和转子之间的空间中,通过转子的旋转排出到排气口侧,并通过后段的辅助泵排放到大气中。

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什么是罗茨泵?

当与油回转真空泵或干泵等粗抽泵组合时,在粗抽泵排气速度下降的压力范围内,使用罗茨泵可以使排气速度显著上升。

罗茨泵的外观,如图所示。壳体中的两个8字型转子装在轴端部的驱动齿轮上并向相反方向同步旋转。

从进气口进入的气体被限制在壳体和转子之间的空间中,通过转子的旋转排出到排气口侧,并通过后段的辅助泵排放到大气中。

转子间,以及转子和壳体间不会接触,保持微小的间隙(0.1至0.3mm)旋转,对气体进行压缩和输送。转子室中不需要润滑油,因此可以实现具有较少油蒸气污染的真空排气。转子可以高速旋转,因此不必担心与壳体摩擦的风险。

此类泵可以作为大气压下排气的其他类型泵的辅助泵使用,用于高真空侧。特点是可以在极限压力0.5~5Pa宽范围内发挥稳定的性能。

罗茨泵的外观

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