回转翼型干泵|真空泵(高真空)的基础知识|技术知识|ULVAC SHOWCASE

真空泵(高真空)的基础知识

什么是回转翼型干泵?

回转翼型干泵的外观如图所示。如图所示,这种类型的泵是由转子,气缸,叶片等构成的机械真空泵。因为是无油泵,所以气缸和转子之间间隙的空气回流是不可避免的。如图所示,多叶片设计用于防止回流。

尽管该泵结构简单且极限压力欠佳,但在低真空区域的抽速很大,广泛的用作为吸附和传送机器的真空源。

由于叶片一直在转子处或气缸边滑动运动,因此,由于滑动引起的发热较多,必须注意冷却。由于叶片由碳基材料制成,并且叶片在滑动的同时移动。碳被磨损并粉化,产生微量的碳粉,薄膜状粘附在滑动面上,起到减少摩擦的作用。

此外, 碳粉可能会因为排出气体的湿度较高,或者因为水分而变成粘度较高的块状,堵塞在旋转部的缝隙中,从而引起故障。因此,该泵不适合排水分和腐蚀性气体。此类回转翼型干泵,被用作于电子电机行业、食品机械行业、包装机械行业、印刷机械行业、牙科行业、产业机械行业、半导体行业的真空源(吸附/吸引)。

回转翼型干泵的外观

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回转翼型干泵的结构

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