真空泵(低・中真空)

ULVAC的真空泵是以ULVAC在真空领域丰富的技术和经验为基础开发的。除了油回转真空泵以外，干泵也有罗茨型、膜片型和活塞型等。我们有适用于所有领域·条件·用途的真空泵系列产品。

泵的种类

全部螺杆型干泵多级罗茨型干泵涡旋式干泵隔膜型干泵摇动活塞型干泵油回转真空泵罗茨泵排气单元真空泵油寻找可选零件

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螺杆型干泵
多级罗茨型干泵
涡旋式干泵
隔膜型干泵
摇动活塞型干泵
油回转真空泵
罗茨泵
排气单元
真空泵油
寻找可选零件

极限压力

※下方表格请横向滚动浏览。

请不要选择	1.0×10^-2	1.0×10^-1	1.0	10.0	1.0×10²	1.0×10³	1.0×10⁴	1.0×10⁵
请不要选择	7.5×10^-5	7.5×10^-4	7.5×10^-3	7.5×10^-2	7.5×10^-1	7.5	7.5×10¹	7.5×10²
请不要选择	1.0×10^-4	1.0×10^-3	1.0×10^-2	1.0×10^-1	1.0	1.0×10¹	1.0×10²	1.0×10³

（単位）	Pa	Torr	mbar

最大排气速度

※下方表格请横向滚动浏览。

0	50	100	500	1000	3000	5000	10000	50000	105000
0	3	6	30	60	180	300	600	3000	6300

（単位）	L/min	m³/h

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专注于

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