真空ポンプの原理と特徴<種類別>

他ポンプと組み合わせて力を発揮するメカニカルブースタポンプとは?

メカニカルブースタポンプは排気速度を飛躍的に増大させる働きをもったポンプです。

油回転真空ポンプ、ドライポンプ、などの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において、その排気速度を大幅にアップさせることができます。

半導体プロセス、真空蒸留、真空包装、脱ガス、薄膜、真空冶金、 低密度風洞実験、宇宙開発、真空含浸、真空乾燥など 多くの分野・製造で活躍しています

別のポンプと組み合わせて幅広く利用されているメカニカルブースタポンプの特徴

大気圧に放出するほかのポンプ(油回転真空ポンプやドライポンプ)とを補助ポンプとして使用し、高真空側に用います。排気速度の大幅アップと到達圧力を低くする事を目的としてよく利用されます。

長所 10KPa~0.1Paにおいて排気速度を飛躍的に増大
短所 逆流がある

2つの繭が気体を押し出すメカニカルブースタポンプの仕組み

ケーシング内にある2個のマユ型ロータが、その軸端の駆動ギアに入り互いに反対方向に同期回転するようになっています。吸気口から入った気体はケーシングとロータ間の空間に閉じ込められ、ロータの回転で排気口側に排出され、後段の補助ポンプで大気中に放出されます。

ロータはロータ同士およびケーシングと接触することなく、わずかな隙間(0.1~0.3mm)を保ちながら回転し、気体を輸送するので、ロータ室内には潤滑油を必要としません。したがって油蒸気による汚染の少ない真空排気が可能です。またロータは高速回転が可能で、ケーシングとの間に摩擦の心配はありません。

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