DA-81S|DA・DAP・DATシリーズ 1段式|ダイアフラム型ドライ真空ポンプ|真空ポンプ(低・中真空)|製品情報|ULVAC SHOWCASE

ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

DA・DAP・DATシリーズ 1段式

DA-81S

アルバック

スタンダードタイプ / 1段排気方式 / サーマルプロテクター内蔵 / プラグ付き電源コード / スイッチ付き

特長

  • 豊富な実績を持ち、低価格を実現したドライ真空ポンプのスタンダードタイプ。
  • 接ガス部に油を使用していないドライタイプの真空ポンプ。
  • 用途に合わせて選べる豊富なラインナップ。
  • 1段排気方式は、2段排気方式より大きい排気速度。
  • ロック保護・過電流保護機能付の安全設計
  • 大気圧から作動が可能。
  • DCモータ搭載。

仕様

  Unit 50Hz 60Hz
実効排気速度
L/min 75 85
到達圧力※1
Pa (kPa) 13.3×103 (-88.0)
使用電動機
  単相, 100V, 100W, 4 P, コンデンサ運転
全負荷電流
A 2.5 2.7
質量
kg 10.3
吸・排気口径(メネジサイズ)
mm O.D.Φ12×I.D.Φ8 (G 1/4)
使用雰囲気温度範囲
0~40
最大寸法
mm 181(W)×336.5(L)×217(H)
最大寸法(組込型)
mm 153(W)×288(L)×202(H)
※1:到達圧力の( )内はゲージ圧表示となります。

対応規格/電圧

型 式 認証規格 CE
自己宣言

100V

115V

200V

220V
DA-81S
DA-81SK
●:標準、○:オプション対応、-:対応不可
組込型の専用モデルです。

使用上の注意

腐食性ガス、有機溶剤、液体及び凝縮性ガス(水蒸気等)は吸引しないでください。
また、ゴミやホコリ等がポンプ内に入らないようにしてください。
屋内専用のポンプです。
雨や水のかかるような場所や屋外には設置しないでください。

寸法図

DA-81S

zu_da81s.gif

> CADデータダウンロード(DXF)

DA-81SK

zu_da081sk.gif

> CADデータダウンロード(DXF)

排気速度曲線

curve_da081s.gif

トラブルシューティング ダイアフラム型ドライ真空ポンプ

故障、異常原因と対処方法
1. ポンプの圧力が下がらない
2. 異常音がする
3. ポンプが回転しない
4. 定格電流値よりも電流値が高い
5. ポンプから異臭がする

トラブル対策・よくある質問・お役立ち情報
1. 水分が含まれた凝縮性ガスを吸引したら
2. 真空起動時の不具合
3. 全負荷電流値と起動電流値の違い
4. 真空と大気圧を繰り返して使いたい
5.
大気圧付近で連続して使いたい
6.
真空ポンプを自分で修理したい
7.
真空ポンプの引取りオーバーホールの内容を知りたい
8.
真空ポンプのオーバーホールの周期はどれくらいか
9. ダイアフラム(合成ゴム)の耐蝕性

故障、異常原因と対処方法

1. ポンプの圧力が下がらない

チェック項目 対処方法
ダイアフラムが破損していないか ・ダイアフラムを交換する
吸気弁、排気弁が破損していないか ・吸気弁、排気弁を交換する
エアフィルターやサイレンサーが目詰まりしていないか ・エアフィルターやサイレンサーを清掃する。または交換する
吸気管から漏れていないか ・シールテープの交換、またはOリングを交換する
入力電源に異常はないか ・定格電圧の±10%以内に改善する
ポンプ周辺の温度が適切か ・使用雰囲気温度の範囲に改善する
真空槽や配管等に漏れはないか ・ポンプ単体の性能に問題がないか確認する。問題がなければ配管等にもれがないか確認し、漏れを止める

※消耗部品をセットにしたメンテナンスキットがある機種は、取扱説明書を参照しながらお客様ご自身で消耗部品の交換ができます。ポンプ購入時の代理店へお問い合わせください。
※解決しない場合には、漏れを探し、点検修理を依頼してください。修理・メンテナンスの依頼方法はこちら

2. 異常音がする

チェック項目 対処方法
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・異物を取り除く
入力電源に異常はないか ・定格電圧の±10%以内に改善する
ダイアフラムが破損していないか ・ダイアフラムを交換する

※消耗部品をセットにしたメンテナンスキットがある機種は、取扱説明書を参照しながらお客様ご自身で消耗部品の交換ができます。ポンプ購入時の代理店へお問い合わせください。
※解決しない場合には、漏れを探し、点検修理を依頼してください。修理・メンテナンスの依頼方法はこちら

3. ポンプが回転しない

チェック項目 対処方法
コンセントまで電源は来ているか ・ヒューズやブレーカーを確認する
入力電源に異常はないか ・定格電圧の±10%以内に改善する
ポンプ内部の真空状態が原因ではないか ・ポンプ内を大気圧に戻す
「真空起動時の不具合」参照
雰囲気温度が低過ぎないか ・規程の使用雰囲気温度にする
サーマルプロテクタが作動していないか ・ポンプが高温になっている原因を取り除く

※解決しない場合には、漏れを探し、点検修理を依頼してください。修理・メンテナンスの依頼方法はこちら

4. 定格電流値よりも電流値が高い

チェック項目 対処方法
水分系を吸引していないか ・水分が入ってしまった場合は、吸排気口を開放して、しばらく空運転をして水分を吐き出す
・水分が入ってしまった場合は、分解して内部の水分を除去する
・水分が入ってしまう場合は、ポンプ前段にトラップを入れる
「 水分が含まれた凝縮性ガスを吸引したら」参照
排気側が目詰まりしていないか ・サイレンサを清掃する。またはサイレンサを交換する
ポンプ内に異物が入り込むようなことはないか ・異物を取り除く
・異物が入ってしまう場合は、ポンプ前段にトラップを入れる
高い吸入圧力で連続運転をしていないか ・高い吸入圧力で連続して運転する使い方には向いていないので、他のポンプへの交換を検討する
・「真空と大気圧を繰り返して使いたい」参照
供給電圧に問題はないか ・電圧降下が起こっていないか、電気的な確認をする
ポンプ周辺の温度が高くないか ・ファンを取り付けて冷却すなどポンプ周辺の温度を改善する

※解決しない場合には、漏れを探し、点検修理を依頼してください。修理・メンテナンスの依頼方法はこちら

5. ポンプから異臭がする

チェック項目 対処方法
吸引物に原因がないか ・吸引物に臭気がある場合は、ポンプ前段にトラップを入れる
・排気側をダクトにつなぐなどの対策を取る
モータが焼け焦げていないか ・焦げ臭い場合はモータが損傷の可能性があるので修理を依頼する

トラブル対策・よくある質問・お役立ち情報

1. 水分が含まれた凝縮性ガスを吸引したら

水分を取り除く必要があります。取り除かないとポンプ寿命が縮まります。
ポンプ室部品には耐水性でないものがあり、どうしても水蒸気の吸引を避けれない場合は、頻繁に大気開放状態でポンプを運転し、内部の水分を吐き出させるように対処いただくと効果的です。

例えば、ポンプ室部品を耐水性のあるフッ素樹脂系のものした場合も、使用後あるいは、1日数回大気開放状態でポンプを運転したほうが効果的です。

2. 真空起動時の不具合

ポンプを到達圧力で運転中に停電などの事故で停止した場合、ポンプ内部は真空に保持されたままになっています。内部の真空状態と外部の大気圧状態では大きな差圧がかかってしまうため、再起動が困難になる場合が有ります。このような状態の場合、ポンプ室内部を大気圧に戻す(真空破壊)をすれば、ポンプはスムーズに回転します。

真空破壊を行わずにポンプを再起動した場合、起動が困難なため、

  1. モータに過電流が流れる
  2. 過電流により、ポンプの温度が急上昇する
  3. ポンプの破損

などが起こります。

3. 全負荷電流値と起動電流値の違い

全負荷電流値は、モータの100%出力時の入力電流値です。また、定格電流値とも呼ばれています。
起動電流値は、モータに電源を投入し、運転を開始するときの電流値です。モータの種類によって異なりますが、瞬間的に全負荷電流値の約5倍の電流が流れます。

4. 真空と大気圧を繰り返して使いたい

真空と大気圧を繰り返して使う場合は、真空ポンプと吸着物の間にバルブを設け、真空ポンプは運転したままバルブの開閉で調整してください。
真空ポンプの電源のオン・オフで真空と大気圧を繰り返すやり方はお止めください。モータに負荷がかかり安全装置が働いてポンプが停止します。万が一安全装置が働かなかった場合、モータが焼けて、発煙、発火の恐れがあります。
※アルバックでは、吸着用のバルブの取り扱いはございません。

5. 大気圧付近で連続して使いたい

ダイアフラム型ドライ真空ポンプは、大気圧付近での連続運転に不向きです。大気圧付近での連続運転はお止めください。モータに負荷がかかり、安全装置が働いてポンプが停止します。万が一安全装置が働かなかった場合、モータが焼けて、発煙、発火の恐れがあります。
大気圧付近で連続して運転できる回転翼型ドライ真空ポンプは、アルバックでは取り扱いがありませんが、ブロアなどをご検討ください。

6. 真空ポンプを自分で修理したい

ダイアフラム型ドライ真空ポンプは、消耗部品をセットにしたメンテナンスキットがある機種については、取扱説明書を参照しながらお客様ご自身で消耗部品の交換ができます。該当機種のメンテナンスキットをお買い求めください。メンテナンスキットのない機種については、修理をご依頼ください。
取扱説明書こちら 
修理・メンテナンスの依頼方法はこちら

7. 真空ポンプの引取りオーバーホールの内容と知りたい

オーバーホールでは主に、①分解・お見積り、②部品の洗浄、③消耗部品の交換、劣化部品の交換、④組立、⑤性能検査 を実施しています。
吸引物を確認させていただいた上で、無害化洗浄をさせていただく場合があります。その場合は、お見積り時にお客さまへご相談させていただきます。

8. 真空ポンプのオーバーホールの周期はどれくらいか

オーバーホールの時期は、ご使用方法で大きく異なります。年に一度のオーバーホールが目安となりますが、日常点検で「圧力が悪くなってきた」「運転中の振動が大きくなってきた」「運転音がこれまでと変わってきた」など異常がある場合は、オーバーホールが必要です。

9. ダイアフラム(合成ゴム)の耐蝕性

特性

NBR
ニトリルゴム
FPM
フッ素ゴム
CR
クロロプレンゴム
EPDM
エチレン・
プロピレンゴム
耐蒸気性
耐オゾン性
耐ハロゲンガス性 × ×
濃硝酸 (61%) × × ×
希硝酸 (12%) × ×
濃硫酸 (97%) × × ×
希硫酸 (48%)
濃塩酸 × ×
濃燐酸 (85%) ×
濃酢酸 (99%) × × ×
希酢酸 (50%) × × ×
アンモニアガス(冷) × × ×
ベンゼン × × ×
ナフサ × × ×
トリクロロエチレン × × ×
メチルアルコール ×
エチルアルコール
エチレングリコール
アセトン × × ×
クレゾール × × ×

真空ポンプは屋外で使用できますか?

屋内での使用を想定して設計しているため、基本的には屋外では使用できません。
対応出来る可能性もございますので屋外での使用をご検討の場合にはお問い合わせをお願い致します。

真空ポンプの排気スピードはどうやって計るのですか?

排気速度Sは導入している気体の流量Qを圧力Pで割ることによって求められます。
(S=Q/P)

真空ポンプは多くの種類がありますが、それぞれのポンプがどの圧力領域で使用することができるのか教えてください。

詳細をまとめたページがございますのでリンク先をご覧ください。


https://showcase.ulvac.co.jp/ja/how-to/selection-guide/vacuum-pump-guide.html

ドライ真空ポンプのシールガスやガスバラストガスについて、N2ではなくクリーンドライエアー(CDA)に代えても問題ありませんか?

CDAを使用する場合、下記の点にご注意ください。
①CDAの露点は-60℃以下
②CDAと吸気したガスの反応による製品不具合を起こした場合は保証対象外となります。
③特に水素(H2)の様な爆発性のガス種や引火性ガスの場合は爆発,燃焼する可能性があります。

ドライ真空ポンプの運転音を小さくする事は出来ますか?

オプションで「サイレンサ」を用意している機種もございます。真空ポンプの排気速度に合わせてご選定ください。

ルーツ型ドライ真空ポンプで防爆モータ仕様はありますか?

GRシリーズで対応可能(オプション対応)です。
使用する国/地域によっては、高効率規制等の関係で対応出来ない場合もありますので、詳細仕様についてはお問い合わせください。

使用中のドライ真空ポンプに、省電力アタッチメント ECO-SHOCK は取り付けられますか?

ルーツ型ドライ真空ポンプ LRシリーズは、標準の逆流防止弁をECO-SHOCKに付属される逆流防止弁ユニット(取り合い寸法同じ)と交換頂くだけで使用可能となります。その他型式についてはお問い合わせください。

中大型のドライ真空ポンプの排気側設備検討にあたり、最大排気量を教えてください。

大気圧(1013hPa)の排気速度が最大排気量となります。詳細は製品ページの排気速度曲線などでご確認をお願いいたします。

新旧型式相対表 真空ポンプ

真空ポンプ 旧型式と現行機種相対表

アルバック社製ポンプの相対表となります。既設ポンプと販売現行機種との相違点をご確認ください。
製品詳細仕様は、製品情報ページをご覧ください。

旧製品型式現行機種
D-240DKVD151
D-330DKVD201
D-650DKVD30C
D-950DKVD40C
EC403VD40C
EC603VD60C
EC803VD90C

ベルト掛け駆動型のD-330K,D-650K,D-950Kは、排気速度が若干異なります。ご使用の排気条件毎に選定しますのでご相談ください。

D240DK⇒VD151

型式D-240DKVD151
設計排気速度
m3/h(L/min)
50HZ14(240)14.4(240)
60Hz17(290)17.3(288)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径KF25KF25
排気口径G1( PF1G1
外観寸法 mm LxWxH497x231x251514x170x240

VDシリーズの詳細仕様はこちら

D-DKシリーズ⇒VDシリーズ



型式D-330DKD-650DKD-950DKyajirushi04.gifVD201VD30CVD40C
設計排気速度
m3/h(L/min)
50Hz15(253)30(507)46(760)20.2(336)30(500)40(670)
60Hz19(309)37(618)56(928)24.2(403)36(600)48(800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径1Bホース口VG40相当VG50相当KF25VG40相当VG40相当
排気口径G1 1/2(PF1 1/2)G2
(PF2)
G1VG40相当VG40相当
      L695695766536660660
外観寸法  W266268282181210210
  mm   H371357357269324324

VDシリーズの詳細仕様はこちら

ECシリーズ⇒VDシリーズ

型式EC403EC603EC803yajirushi04.gifVD40CVD60CVD90C
設計排気速度
m3/h
(L/min)
50HZ40(670)60(1000)80(1340)40(670)60(1000)90(1500)
60Hz48(800)72(1200)96(1600)48(800)72(1200)106(1800)
到達圧力 Pa6.7×10-16.7×10-1
使用油ULVOIL R-7000ULVOIL R-7
冷却方式空冷空冷
吸気口径VG50相当VG40相当VG50相当
排気口径VG40相当VG40相当
     L657721775680761831
外観寸法 W270285296210280280
mm H370370370324371371

VDシリーズの詳細仕様はこちら
※上記に廃版型式がない場合は、お手数ですが弊社営業担当者へお問い合わせください。

真空ポンプ セレクションガイド

真空ポンプを選定するには、まず必要となる排気速度を見積った上でさらにその用途に適した種類の中からポンプを選ぶことが大切です。各種ポンプの用途、特長、性能を一覧にしました。ご使用目的に合わせてお選び下さい。

圧力単位(Pa)

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ドライ真空ポンプ

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ドライポンプは、油や液体を真空室内に使用しない真空ポンプのため、クリーンな真空が得られます。大気圧から到達圧力までの広範囲で使用可能です。

アルバックのドライポンプは、研究・開発・生産用途に適したハードプロセス対応モデルからライトプロセスモデルまで幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。
また真空にしたい空間の大きさによって真空ポンプの大きさも変わってきます。

油回転真空ポンプ(大型)

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油回転真空ポンプは、真空ポンプ油を使うことにより回転部の動きを滑らかにしたり、真空封止して気密性を高めることで高い排気性能を実現します。安価、コンパクト、据え付けが容易、油回転真空ポンプ単体で容易に真空が得られるなど、経済性・操作性に優れたポンプです。

アルバックの油回転真空ポンプは、多種多様な使用用途に応じた幅広いラインナップがあります。
使用目的・用途・アプリケーションからお選び頂けます。

油回転真空ポンプ(小型)

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小型油回転真空ポンプは、200L/min以下シェアNo1メーカーのアルバック機工社製のポンプです。
どのくらいまで減圧したいか、真空槽の中で何がしたいかによって、お勧めする真空ポンプが変わってきます。

メカニカルブースタポンプ

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メカニカルブースターポンプは、油回転ポンプやドライポンプなどの粗引きポンプと組み合わせることにより、粗引きポンプの排気速度が落ち込む圧力領域において排気速度を大幅にアップさせることができます。
アルバックのメカニカルブースタポンプは、多種多様な用途に応じた幅広いラインナップがあります。使用条件によって空冷でもご利用いただけます。

ターボ分子ポンプ

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ターボ分子ポンプは、分子流領域において排気速度が一定で、連続したガス排気が可能です。また、再生作業などの保守の必要が無く、水素・ヘリウムに対して高い排気性能を実現します。

スパッタイオンポンプ

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スパッタイオンポンプは超高真空の発生に利用される代表的なポンプのひとつです。
イオン真空ポンプは、陽極と陰極で構成されたポンプセルに電場を印加する簡単な動作原理のため、機械的振動や騒音なく 超・極高真空を得られます。また、広く分析機器、加速器等に使用され完全オイルフリーで取り付け方法を選びません。

ULVACは、極・超高真空領域での排気特性を強化した新型素子(アクター素子) の開発と磁場の最適化を図ることにより『アクターポンプ PSTシリーズ』を開発しました。

オイルセレクションガイド

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油回転真空ポンプ、油拡散真空ポンプに使用する純正油「ULVOIL」は、真空ポンプの性能をフルに引き出すことばかりではなく、ポンプの寿命やメンテナンス期間の延長、運転経費までを含めたトータルコストの低減を実現します。
ドライ真空ポンプの1段式と2段式の違いは?

ドライ真空ポンプの形状で、モータを動力としてポンプ室を2つ組み合わせたもので説明します。

1段式:
2つのポンプ室を並列につないで排気量を増やしているものが1段式です。
ポンプ室が1つであるものは当然1段式となります。

2段式:
ポンプ室を直列に2組つないで圧縮比を大きくとったものが2段式です。,.
現在では、3段式や4段式のものもあります。

1段式と2段式の比較

到達圧力排気速度
1段式高い大きい
2段式低い小さい

1段式と2段式のポンプ室の組合わせ

faq_01_09f.gif

真空ポンプにはどのような種類がありますか?

一般にポンプとは流体に圧力や速度などを付与しながらこれを輸送する装置をいいます。

真空技術でいうポンプの場合は、これよりももっと広い意味が与えられています。

この一般的なポンプの定義のとおり、真空装置内の気体をより高い圧力の外部へ輸送し、排出するものがあります。たとえば、油回転真空ポンプやメカニカルブースタポンプのような機械式真空ポンプ、あるいは油拡散ポンプやエゼクタポンプのような蒸気噴射式真空ポンプです。ほかに気体を外部に運び出すのではなく、ただ気体分子を捕えてしまうだけのものがありますが、これは気体に対して受動的であり、厳密にはポンプとはいえないかもしれません。

これらにはゲッタ作用を利用した真空ポンプや低温における吸着、凝結作用を利用した真空ポンプなどがあります。

つまり真空ポンプとは、気体を除去する機能をもつ装置であるということができます。作動原理によって真空ポンプを大別すると気体輸送式真空ポンプ、気体溜込式真空ポンプになります。

これらの真空ポンプの種類をまとめると図のようになります。

真空ポンプの種類

kiko_1_1hyou.gif

該非判定結果報告書
ダウンロード

SDSダウンロード

オプションパーツ・消耗品

取扱説明書・仕様書
ダウンロード

アプリケーション
ダウンロード

図面ダウンロード

技術資料ダウンロード

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