VACUUM 2022 真空展に出展いたします|展示会|最新情報|ULVAC SHOWCASE

展示会

2022年10月12日

アルバックは、昨年に引き続き「VACUUM 2022 真空展」リアル会場とオンライン会場に出展いたします。

9月に発売しました製品ラインアップを始め、皆様にご愛顧いただいている真空関連製品をご紹介いたします。
アルバックグループから、アルバック、アルバック機工、アルバック・クライオ、昭和真空が出展です。是非ご来場ください。

アルバック・グループ一同、皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。

※出店製品を掲載いたしました。

■リアル会場 【アルバックブース小間番号: V-01】 ■オンライン会場
https://autumnfair.nikkan.co.jp/booth/ulvac
会 期:2022年10月19日(水)〜10月21日(金)10:00〜17:00
会 場:東京ビッグサイト 西ホール
入場料:1,000円(入場登録者、招待状持参者、中学生以下は無料)
会 期:2022年10月12日(水)〜10月28日(金)
会 場:オンライン上
入場料:無料(登録制)

VACUUM 2022真空展の入場登録はこちら

VACUUM 2022 真空展 リアル展示およびオンライン展示の入場には事前登録が必要です。
日刊工業新聞社の専用サイトへアクセスいただき、事前登録下さますようお願いいたします。

https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/

出展製品のご案内 ☆リアル展にて実機展示品

真空ポンプ

  • 大型真空ポンプ
スクリュー型ドライ真空ポンプ LSシリーズ
LS120A ☆
スクリュー型ドライ真空ポンプ MSシリーズ  《新製品》
MS120A ☆
空冷ルーツ型ドライ真空ポンプ CRシリーズ
CR30B ☆
クライオポンプ CRYO-U シリーズ
  • 小型真空ポンプ
油回転真空ポンプ GHDシリーズ
GHD-101

GHD-031A ☆
真空デシケーター VDE-3 ☆
小型ダイアフラムポンプ DAS-5D (仮称) 《新製品》 ☆
バッテリー式ドライポンプ VD-16-P ☆

真空計測機器

  • ヘリウムリークディテクタ
リークディデクタ HELIOT901W1 ☆
リークディデクタ HELIOT904W2 ☆
  • プロセスガスモニタ
差動排気系付四重極型質量分析計 Qulee with YTP-H BGM2-202 ☆
ガス分析計 スパッタリングプロセス Qulee CGM2シリーズ
Qulee CGM2-101 《新製品》 ☆
ガス分析計 ベーシックプロセス Qulee BGM2シリーズ
ガス分析計(プロセスガスモニタ) Qulee HGM2シリーズ
  • 真空計
ピラニ真空計 SW100 《新製品》 ☆
マルチイオンゲージ(長寿命仕様) G-TRAN ST200シリーズ ☆
マルチイオンゲージ(超高真空仕様) G-TRAN SH200シリーズ ☆
スマホ対応ピラニ真空計 G-TRAN SWU10-U ☆
  • 膜厚評価装置
触針式プロファイラ Alpha step Dシリーズ、Pシリーズ
Alpha step D-600 ☆
分光エリプソメータ UNECSシリーズ
UNECS-2000A
UNECS Portable ☆
  • 水晶発振式成膜コントローラ
水晶発振式成膜コントローラ CRTM-R1 《新製品》  ☆
水晶板 UCR-5MAU-12 ☆
水晶発振式成膜コントローラマルチセンサ CRTSシリーズ

電源

  • DC電源
DC電源  DC-10-D 《新製品》
DC-20-D 《新製品》 ☆
大容量DC電源  DC-20 ☆
小容量DC電源  DC-2 ☆
DC-4
DC PULSE電源  DC-5-P ☆
異常放電防止ユニット  A2K-40K ☆
  • RF電源
プラズマプロセス用RF電源 RFS-Nシリーズ
RFS-1305N ☆
RFS-1350N ☆
金属膜用EBガン EGNシリーズ
EGN-406M ☆
RF電源フェーズシフター PHSシリーズ
PHS-04N ☆
マッチングボックス切換機 MEX-Nシリーズ
MEX-2N ☆
ターゲット切替器 EXNシリーズ
300W 一体型RFシステム RMGシリーズ
RMG-1303 ☆
  • EB電源・EBガン
EB電源 HPS-Nシリーズ
HPS-1000N ☆
金属蒸着用EBガン  EGN-406M ☆
光学膜用EBガン EGO-40M

応用製品

低温機器 極低温冷凍機
低温機器 液体窒素ジェネレーター
予兆保全用エッジコンピューティングシステム EPIoT
高速スパッタ・重合システム SPC-155CT
ウエハトリミング装置 SST-M01T

※VACUUM 2022 真空展の入場登録はこちらから ⇒ https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/

Vacuum2022_ulvac.jpg

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