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アルバックグループは、真空装置・真空機器・材料・分析機器・カスタマーソリューションなどの多様な真空技術を、総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。

ーーとは言うものの「多様な真空技術とはどんなもの?」「幅広い業界のどこで使用されているの?」と疑問を持たれたこともあるのではないでしょうか。

実はこんな身近なところに!?と驚かれることもしばしばな真空技術。

いまや一年を通して私たちの生活に欠かせない一般家庭用エアーコンディショナー(通称エアコン)に真空技術が密接にかかわっていること、ご存知ですか?


高度な漏れ試験をするカギ

 これまで見てきたとおり、漏れ試験には、液体を用いた方法と、空気や特定なサーチガスなどの気体を用いた方法があり、気体を用いた漏れ試験の方が液体を用いた漏れ試験より小さな漏れを発見できることがわかりました。

 また、気体を用いた漏れ試験において使用する気体は、ヘリウムガス、水素ガス、ハロゲンガス、アンモニアガスがおもに使われており、なかでも、ヘリウムガスは、安全に高感度な試験を行えることがわかりました。
 ヘリウム漏れ試験を行うためには、「ヘリウムリークディテクタ」と呼ばれるヘリウムガスの漏れを高感度で検出できる分析機器が必要です。これを使用して漏れ量や漏れ箇所を特定します。

ヘリウムリークディテクタとは

 では、ヘリウムリークディテクタとは、どのようなものなのでしょうか?

外観と構造図を次のとおりです。

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 実はこのヘリウムリークディテクタは真空機器なのです。

ヘリウムガスがテストポート(分析装置の接続口)から流入すると、分析管(アナライザ)によってヘリウムを検知します。この分析管は、磁場偏向型質量分析計となっていて、分析管内部は真空になっています。分析管内部を真空にするために、真空ポンプ(ターボ分子ポンプや油回転真空ポンプ、ドライ真空ポンプ)が用いられます。

 磁場偏向型質量分析計の原理は、イオンソースで分析管に流入した全ての気体をイオン化し、イオン化した気体を磁場偏向部でヘリウムイオンだけを選別、その後イオン収集板へ送られます。イオン収集板はヘリウムイオンを電流として測定します。つまり、ヘリウムガスの量を電流として測定しています。

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ヘリウムリークディテクタの原理と構造について詳しく知りたい方はこちらをクリックして下さい。

あらゆる場面で活用されるヘリウムリークディテクタ

 家庭用エアコン、自動車用エアコン、家庭用冷蔵庫などの冷媒を用いた機器は、ヘリウムリークディテクタを使用して、ヘリウム漏れ試験を行っています。
ヘリウムリークディテクタを使用するヘリウム漏れ試験は、消火器や食品、電子部品から、航空機や人工衛星など、多岐にわたり活用され、数多くの産業分野で採用されています。

産業別の検査レベル

 このヘリウムリークディテクタはヘリウムの量を電流として測定していますが、電流値では漏れ量としてはわかりにくいので、Pam3/secという単位で漏れ量を表しています。私たちの業界では「パスカルリューベパーセック」と言っています。これは、単位時間(sec:秒)に移動したガス量(絶対圧力(Pa:パスカル)×容積(m3))を意味しています。検出する漏れは極め小さい値なので、一般的にべき乗(例:a×a×aa3)を表すEExponentiation)を用いて表記します。この表記に基づいた産業別の検査レベルは、以下のとおりです。

産業別の検査レベル(目安)

漏れ量Q [Pa・m3/sec] E-3 〜 E-5 E-5 〜 E-7 E-9 〜 E-10 E-11 〜 E-12
対象 水道管
ガス管
空調
熱交換器
コンプレッサ
自動車部品
真空部品 原子力
宇宙関連

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