VACUUM 2024 真空展に出展いたします|展示会|最新情報|ULVAC SHOWCASE

展示会

2024年08月23日

アルバックは、昨年に引き続き「VACUUM 2024 真空展」リアル会場とオンライン会場に出展いたします。

今年発売致しますポンプ始め、皆様にご愛顧いただいている真空関連製品が一堂にご覧いただける機会です。

日本真空工業会のコンポーネント大賞を受賞したCVD、エッチング装置対応のプロセスガスモニタの実機も展示いたします。

アルバックグループから、アルバック、アルバック機工、アルバック・クライオ、昭和真空が出展です。是非ご来場ください。

アルバック・グループ一同、皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。

■リアル会場 【アルバックブース小間番号: V-60】 ■オンライン会場
会 期:2024年9月18日(水)〜9月20日(金)10:00〜17:00
会 場:東京ビッグサイト 東ホール
入場料:1,000円(入場登録者、招待状持参者、中学生以下は無料)
会 期:2024年9月11日(水)〜9月27日(金)
会 場:オンライン上
入場料:無料(登録制)

VACUUM 2024真空展リアル会場セミナーのご案内


本年アルバックはセミナーを2公演実施いたします。
ご参加いただく際には下記URLよりご登録ください。 尚、本公演はリアル展のみでの開催となります。

〇9月18日15:30~16:10
『分析装置向け、超静音で油漏れしない油回転真空ポンプのご紹介』
〇9月19日12:30~13:10
『JVIA表彰4年連続受賞!!アルバック真空計測機器の魅力』

VACUUM 2024真空展の入場登録はこちら

VACUUM 2024 真空展 リアル展示およびオンライン展示の入場には事前登録が必要です。
日刊工業新聞社の専用サイトへアクセスいただき、事前登録下さますようお願いいたします。

https://biz.nikkan.co.jp/eve/vacuum/

出展製品のご案内 ☆リアル展にて実機展示品

真空ポンプ

  • 大型真空ポンプ
スクリュー型ドライ真空ポンプ LSシリーズ
LS120A
油回転真空ポンプ MSシリーズ
MS120A
  • 小型真空ポンプ
油回転真空ポンプ(新型マグネット) Gv135☆
小型ピストンポンプ 真空(参考出展) DOP-30S-DC ☆
小型ピストンポンプ 加圧(参考出展)
DOP-30SP-DC ☆
気液ダイアフラムポンプ(参考出展)

真空計測機器

  • ヘリウムリークディテクタ
リークディデクタ HELIOT901W1
リークディデクタ HELIOT904W2
  • プロセスガスモニタ
ガス分析計 Qulee RGM2-201F
ガス分析計 スパッタリングプロセス Qulee CGM2シリーズ
Qulee CGM2-101
  • 真空計
ピラニ真空計 SW100
マルチイオンゲージ(長寿命仕様) G-TRAN ST200シリーズ
マルチイオンゲージ(超高真空仕様) G-TRAN SH200シリーズ
スマホ対応ピラニ真空計 G-TRAN SWU10-U
  • 膜厚評価装置
触針式プロファイラ Alpha step Dシリーズ
Alpha step D-600
分光エリプソメータ UNECS Portable
  • 水晶発振式成膜コントローラ
水晶発振式成膜コントローラ CRTM-R1
成膜コントローラ用測定ソフトウェアCRTM Manager CRTM Manager☆
水晶板 CRTS-12NS
水晶板 UCR-5MAU-12

電源

  • DC電源
DC電源  DC-20-D
大容量DC電源  DC-20
小容量DC電源  DC-2
DC PULSE電源  DC-5-P
  • バイポーラ電源
Bipolar電源 SGシリーズ SG-10
  • RF電源
プラズマプロセス用RF電源 RFS-Nシリーズ
RFS-1305N
RFS-1350N
RF電源操作パネル  RFP-N
RF電源フェーズシフター PHSシリーズ
PHS-04N
マッチングボックス切換機 MEX-Nシリーズ
MEX-2N
300W 一体型RFシステム RMGシリーズ
RMG-1303
  • EB電源・EBガン
EB電源 HPS-Nシリーズ
HPS-1000N
金属蒸着用EBガン  EGN-406M

応用製品

AuSu蒸着装置 SEC-S900C
真空蒸着装置 SEC-08C、16C
ウエハトリミング装置 SST-M01T
カルーセル型 高速スパッタ重合装置 SPP-155CT
ロードロック式カルーセル型スパッタ装置 SPC-2507-Ⅱ
ロードロック式スパッタ装置 SPH-2410-Ⅱ

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