VACUUM 2024 真空展に出展いたします
展示会
2024年08月23日
アルバックは、昨年に引き続き「VACUUM 2024 真空展」リアル会場とオンライン会場に出展いたします。
今年発売致しますポンプ始め、皆様にご愛顧いただいている真空関連製品が一堂にご覧いただける機会です。
また日本真空工業会の真空コンポーネント・部品・材料部門賞を受賞した成膜コントローラ製品も紹介いたします。
アルバックグループから、アルバック、アルバック機工、アルバック・クライオ、昭和真空が出展です。是非ご来場ください。
アルバック・グループ一同、皆様のお越しを心よりお待ち申し上げております。
■リアル会場 【アルバックブース小間番号: V-60】 | ■オンライン会場 |
会 期:2024年9月18日(水)〜9月20日(金)10:00〜17:00 会 場:東京ビッグサイト 東ホール 入場料:1,000円(入場登録者、招待状持参者、中学生以下は無料) |
会 期:2024年9月11日(水)〜9月27日(金) 会 場:オンライン上 入場料:無料(登録制) |
VACUUM 2024真空展リアル会場セミナーのご案内
本年アルバックはセミナーを2公演実施いたします。
ご参加いただく際には下記URLよりご登録ください。 尚、本公演はリアル展のみでの開催となります。
〇9月18日15:30~16:10
『分析装置向け、超静音で油漏れしない油回転真空ポンプのご紹介』
〇9月19日12:30~13:10
『JVIA表彰4年連続受賞!!アルバック真空計測機器の魅力』
VACUUM 2024真空展の入場登録はこちら
VACUUM 2024 真空展 リアル展示およびオンライン展示の入場には事前登録が必要です。
日刊工業新聞社の専用サイトへアクセスいただき、事前登録下さますようお願いいたします。
出展製品のご案内 ☆リアル展にて実機展示品
真空ポンプ
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スクリュー型ドライ真空ポンプ | LSシリーズ LS120A☆ |
油回転真空ポンプ | MSシリーズ MS120A☆ |
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油回転真空ポンプ(新型マグネット) | Gv135☆ |
小型ピストンポンプ 真空(参考出展) | DOP-30S-DC ☆ |
小型ピストンポンプ 加圧(参考出展) |
DOP-30SP-DC ☆ |
気液ダイアフラムポンプ(参考出展) |
真空計測機器
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リークディデクタ | HELIOT901W1☆ |
リークディデクタ | HELIOT904W2☆ |
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ガス分析計 | Qulee RGM2-201F☆ |
ガス分析計 スパッタリングプロセス | Qulee CGM2シリーズ Qulee CGM2-101☆ |
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ピラニ真空計 | SW100 ☆ |
マルチイオンゲージ(長寿命仕様) | G-TRAN ST200シリーズ☆ |
マルチイオンゲージ(超高真空仕様) | G-TRAN SH200シリーズ☆ |
スマホ対応ピラニ真空計 | G-TRAN SWU10-U☆ |
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触針式プロファイラ | Alpha step Dシリーズ Alpha step D-600☆ |
分光エリプソメータ | UNECS Portable☆ |
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水晶発振式成膜コントローラ | CRTM-R1☆ |
成膜コントローラ用測定ソフトウェアCRTM Manager | CRTM Manager☆ |
水晶板 | CRTS-12NS☆ |
水晶板 | UCR-5MAU-12☆ |
電源
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DC電源 | DC-20-D |
大容量DC電源 | DC-20 |
小容量DC電源 | DC-2 |
DC PULSE電源 | DC-5-P |
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Bipolar電源 SGシリーズ | SG-10 |
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プラズマプロセス用RF電源 | RFS-Nシリーズ RFS-1305N RFS-1350N |
RF電源操作パネル | RFP-N |
RF電源フェーズシフター | PHSシリーズ PHS-04N |
マッチングボックス切換機 | MEX-Nシリーズ MEX-2N |
300W 一体型RFシステム | RMGシリーズ RMG-1303 |
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EB電源 | HPS-Nシリーズ HPS-1000N |
金属蒸着用EBガン | EGN-406M |
応用製品
AuSu蒸着装置 | SEC-S900C |
真空蒸着装置 | SEC-08C、16C |
ウエハトリミング装置 | SST-M01T |
カルーセル型 高速スパッタ重合装置 | SPP-155CT |
ロードロック式カルーセル型スパッタ装置 | SPC-2507-Ⅱ |
ロードロック式スパッタ装置 | SPH-2410-Ⅱ |